Occasion PSC DES-212-304AVL #9273101 à vendre en France

PSC DES-212-304AVL est un équipement de gravure/cueillette conçu pour la production de matériaux électroniques avancés. Il s'agit d'un système à clé en main, composé d'une chambre de traitement de type Alcoa, d'une unité polyvalente de distribution de gaz PECVD, de plusieurs systèmes de verrouillage de charge, d'une chambre pré-propre de substrat préfixe oxyde-FET et d'une machine de traitement cassette-cassette de 300 mm. Cet etcher de bureau est conçu avec une architecture ouverte qui permet une intégration facile des processus existants ou supplémentaires. L'outil est adapté à tout procédé de gravure de résiste, de cendrage chimique ou thermique, y compris le désamiantage, le strippage, le dépôt, ainsi que les compositions d'alliage, de mélange et de mélange. Cet etcher est équipé de deux sources E refroidies cryogéniquement - l'une dédiée à l'élimination de la résistance, et l'autre à la préparation de surface. La chambre de traitement de type Alcoa offre un environnement idéal pour la gravure et l'ashing. La chambre est conçue avec une cavité interne en acier inoxydable plus une paroi externe en quartz qui est étanche aux dégazages tout en permettant la transmission efficace du rayonnement infrarouge de courte longueur d'onde. La chambre dispose également d'un réchauffeur céramique dans la zone de traitement qui assure un contrôle indépendant de la température et une alimentation RF uniforme dans toute la chambre. L'actif de livraison de gaz PECVD offre aux utilisateurs un moyen efficace et précis de contrôler les propriétés compositionnelles, ioniques et thermiques de l'atmosphère de gravure. Le modèle peut fonctionner en mode discontinu ou continu avec le contrôle précis de divers gaz et matériaux dont O2, N2 et Ar. La chambre pré-propre du substrat pré-sensible Oxyde-FET offre un moyen efficace et fiable d'éliminer les couches organiques et autres contaminants des substrats avant la gravure. PSC DES-212-304-AVL offre un équipement complet de traitement cassette à cassette de 300 mm pour le nettoyage, le séchage et la gravure des plaquettes. Le système de traitement utilise un convoyeur à six stations pour assurer un chargement et un déchargement efficaces. La chambre dispose d'un écran aérosol pour protéger les utilisateurs et les plaquettes contre l'inhalation. L'unité est également personnalisable pour inclure plusieurs options de manutention des plaquettes telles que la manipulation des lames, la manipulation des couteaux et le pincement des plaques sous vide. Dans l'ensemble, DES-212-304AVL est un graveur de bureau puissant et efficace idéal pour la fabrication de composants électroniques propres et de qualité. Cette unité offre aux utilisateurs flexibilité et polyvalence dans les applications de gravure et d'ashing tout en fournissant les performances les plus fiables.