Occasion PSC DES-212 #9028318 à vendre en France

PSC DES-212 est un équipement de graveur/asher conçu pour répondre au besoin de micro-structuration de haute précision sur des substrats de wafer. L'application principale de ce système est dans le domaine du traitement des semi-conducteurs. DES-212 unit est un étage de table entièrement automatisé x-y-z avec des manipulateurs de précision mécanisés, permettant à l'utilisateur de positionner avec précision les plaquettes et les masques pour les processus de gravure/cueillette. Il peut également être utilisé pour des applications d'écriture directe telles que le scribing laser, permettre des réparations et des déménagements. La plage de déplacement de 200mm x 200mm x 15mm des étages x-y-z de la machine peut accueillir des substrats jusqu'à 6 pouces de diamètre avec un placement tripode de sorte que tout l'échantillon peut être aligné par rapport à l'outil de traitement. Les mouvements XY et Z sont lisses même avec des charges statiques tout en maintenant un niveau de résolution allant jusqu'à 2 µm. L'outil etcher/asher est conçu pour soutenir une grande variété de processus ; gravure par ions réactifs profonds (DRIE), gravure par plasma à couplage inductif (ICP), gravure humide, dépôt de couches minces, pulvérisation, oxydation, dépôt et bande de résistance. L'actif est capable d'effectuer une gravure/cueillette sur les substrats les plus difficiles tels que le silicium, le saphir, le quartz et l'aluminium. Le modèle dispose d'un équipement de contrôle de processus basé sur la bibliothèque pour programmer les paramètres de processus de gravure/ashing, ainsi que la création de recettes et le diagnostic du système. Il permet également la sélection et le traitement de plaquettes multiples, ainsi que le contrôle de la température, le contrôle de la pression, la synchronisation et les options de réseautage permettant à l'unité de communiquer avec d'autres outils de traitement d'appareil. PSC DES-212 est construit avec des caractéristiques de sécurité comme un interrupteur d'alimentation d'urgence et des embrayages pour protéger la machine contre la surpression et le court-circuit, ainsi qu'un garde-clavier pour la sécurité de l'opérateur. L'outil est conçu avec l'utilisateur à l'esprit, fournissant un entretien rapide et l'étalonnage à travers le panneau avant accessible. L'actif est largement utilisé dans les fabs et les installations de recherche pour mener des processus de gravure/cueillette de haute précision avec des résultats fiables. En tant que cendrier/graveur avancé, il répond aux normes actuelles de l'industrie pour la micro-structuration et la polyvalence qu'il offre ouvre une gamme de possibilités à l'utilisateur.