Occasion PSC DES-212 #9198273 à vendre en France
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PSC DES-212 etcher/asher est un équipement entièrement automatisé d'etcher/asher plasma conçu pour fournir des opérations de gravure et d'ashing plasma précises, fiables et répétables. Le système combine le matériel intégré, les logiciels et les services nécessaires pour atteindre un haut débit et une productivité supérieure. L'unité polyvalente et flexible DES-212 intègre une interface graphique conviviale, des algorithmes uniques et du matériel puissant pour répondre aux exigences des applications avancées de gravure et d'ashing. La machine peut utiliser une alimentation à haute tension en option fournissant jusqu'à 30kV puissance. L'outil comprend une chambre de gravure/cueillette intégrée à base de PFPE, un actif de distribution de gaz de gravure, des composants de commutation de gaz à grande vitesse, une source de plasma à distance et un modèle intégré d'échappement de gaz. La chambre offre une atmosphère uniforme avec une susceptance basse température et une uniformité de gravure exceptionnelle. La chambre dispose d'une large gamme pour le traitement de différents types de substrats. La chambre est conçue pour un entretien facile avec une fenêtre de chambre amovible et une porte amovible pour le chargement et le déchargement des substrats. La source de plasma à distance de l'équipement fournit une contamination de fond ultra-faible et la plus grande sélectivité dans le processus. Un certain nombre de fonctions de gestion de paramètres à large gamme permettent aux utilisateurs d'optimiser le processus de gravure. L'etcher/asher dispose d'une variété de caractéristiques pour en faire un système puissant, efficace et fiable. L'unité comprend une vitesse de gravure programmable en temps réel et un contrôle du temps de gravure, ce qui permet aux utilisateurs d'ajuster les taux de gravure et les paramètres au fur et à mesure que les exigences du processus changent. Le panneau de contrôle est facilement accessible, offrant un contrôle complet des paramètres de la machine et un accès facile à la sélection des recettes. L'outil comprend également un atout RF intégré de puissance/appariement pour une optimisation précise et une excellente répétabilité des opérations de gravure/ashing. PSC DES-212 est conçu pour une sécurité globale inégalée, avec une certification de sécurité de UL, CE et RoHS. Le modèle comprend également des substrats transportables, une collecte automatisée des poussières et un faible chargement du substrat. De plus, l'équipement comprend un sous-système intégré d'imagerie thermique pour permettre un contrôle automatique de la température. L'unité peut également être intégrée à des sources externes pour imprimer directement un motif de gravure sur un substrat. DES-212 est une machine de graveur/asher exceptionnelle développée pour répondre aux exigences des processus de gravure/ashing les plus précis d'aujourd'hui. La flexibilité et les capacités de l'outil fournissent une excellente précision, répétabilité et capacité de débit élevée pour satisfaire les exigences de gravure exigeantes.
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