Occasion PSC DES-304 #293616016 à vendre en France

PSC DES-304 est un équipement de pointe de gravure/asher conçu pour le traitement de surface et les applications de gravure de haute précision. Il s'agit d'un système à deux zones, à vide élevé, conçu pour une variété de procédés, y compris la gravure par plasma, la gravure chimique, la gravure humide, la gravure à l'aide de catalyseurs, la gravure profonde, la gravure ionique réactive, le cendrage et la gravure sèche. L'unité est équipée d'une chambre de procédé à quartz et d'une machine de pompage à vide. Cet outil à faible entretien fournit un processus de gravure fiable et cohérent. L'actif comprend le générateur RF 304-1, jusqu'à des systèmes d'aspiration à deux zones, allant de 6 « plates-formes profondes jusqu'à 28 » de profondeur, des systèmes de gravure à vide à deux zones, des systèmes d'aspiration à deux zones et des systèmes d'évacuation à deux zones de résistance. Il dispose d'une chambre de processus avec une fenêtre à quartz de 2 po (50,8 po), et d'un contrôleur de processus intégré qui peut être utilisé pour la vitesse de gravure et le contrôle de courant anodique. DES-304 dispose également de capacités de réglage automatique des fréquences, permettant des processus plus faciles et plus fiables. Le générateur RF 304-1 fournit jusqu'à 400W de puissance à la chambre de traitement. Il est disponible en deux modèles : low-power (0-20W) et high-power (0-400W). Il est aussi équipé avec un séparé 60kV les réserves de courant continu, utilisées pour influer sur le substrate pendant la gravure à l'eau forte. Le modèle comprend également un port de visualisation à distance de 45 ° C de chaque côté de la chambre, permettant une visualisation directe de l'échantillon tout en conservant l'intégrité du processus. L'équipement permet un contrôle direct de la vitesse de gravure et est compatible avec divers gaz de procédé tels que le fluor, le chlore, l'azote, l'oxygène et l'hydrogène. Il est également capable de processus spécialisés tels que la gravure profonde et la gravure ionique réactive avec un angle d'injection manuellement réglable en option pour un meilleur contrôle du processus. Le système dispose également d'une boucle de refroidissement recirculation pour garder les composants au frais pendant les processus de gravure plus longs. PSC DES-304 est une unité de gravure et de cendrage avancée conçue pour des applications de gravure et de traitement de surface de haute précision. Il dispose d'une machine à deux zones et d'un fonctionnement fiable et peu entretenu. L'outil offre une variété de capacités de processus telles que la gravure, la gravure profonde, la gravure ionique réactive et l'ashing, ainsi que le contrôle direct du processus pour la vitesse de gravure et le courant anodique. Avec ses caractéristiques étendues, DES-304 est un atout polyvalent adapté à diverses exigences de gravure et d'ashing.