Occasion PSK DAS 2000 #9276091 à vendre en France

PSK DAS 2000
Fabricant
PSK
Modèle
DAS 2000
ID: 9276091
Taille de la plaquette: 8"
PR Stripper, 8" Cassette: (2) Stages MFC Process gas: (2) 4% H2/N2 500 sccm (2) O2 3SLM (2) N2 1000 sccm Purge gas: N2 FCIP: Microwave: ASTEX FI20160-1 Maximum output: 3.0 kW M/W Power head: ASTEX FI20162-1 ASTEX FI20162-3 Aligner: RA101A-010 PUMP: Pressure control: MKS 653B-2-50-2 Pressure gauge capacidense manometer: MKS 626A 2-Torr Power supply: Main power: AC, 208 V, 150 A, 3Φ, 60 Hz, 21700 VA, 60 FLA UPS Power AC, 208 V, 20 A, 1Φ, 60 Hz, 2080 VA, 10 FLA Transfer robot: RR701L 120-Z20-011 Robot controller: RRS701-RC420-SUCU Main PC MFC: AERA FC-D980C.
PSK DAS 2000 est un équipement de graveur/asher de plaquettes très efficace conçu pour les applications de gravure et ashing de petite et moyenne taille. Ce système offre une conception améliorée et évolutive avec de nouvelles fonctionnalités telles qu'un meilleur contrôle des processus, une imagerie haute résolution et une conception simple pour faciliter l'utilisation. L'unité utilise deux chambres étroitement couplées avec une conception de bande transporteuse pour un chargement facile. La première chambre est la chambre de pré-gravure/pré-cendres qui fournit l'oxygène atomique nécessaire pour préparer correctement la surface de la plaquette avant gravure ou cendrage. Cette chambre intègre une source d'alimentation RF à paroi chaude avancée qui permet un fonctionnement à haute température et à basse pression pour offrir des performances supérieures et une plus grande flexibilité que les sources d'énergie RF traditionnelles. La deuxième chambre est la Chambre de gravure/Cendrage Plasma qui utilise une source d'énergie de décharge multi-cible basse pression à fréquence unique. Le contrôleur intégré offre une interface graphique facile à comprendre avec des options d'intégration pour l'affichage à l'écran des mesures de pression, de puissance et de température. Cette chambre offre également un contrôle accru des paramètres de gravure/ashing tels que la précision, la conformité et la passivation. La machine est également équipée d'un outil avancé de capture d'image qui permet aux utilisateurs d'enregistrer les motifs de gravure et de les analyser pour plus de contrôle et de répétabilité. En outre, l'actif offre des caractéristiques de sécurité supérieures telles qu'un modèle d'alarme programmable et une fonction d'interruption de processus. Dans l'ensemble, PSK DAS-2000 est un équipement de graveur/asher extrêmement efficace et complet conçu pour fournir des niveaux plus élevés de contrôle des processus et des résultats supérieurs à ceux de ses prédécesseurs. La conception intuitive des systèmes offre un délai plus rapide pour obtenir des résultats, tandis que son interface graphique facile à utiliser et ses fonctions puissantes en font un choix idéal pour la gravure et le cendrage en laboratoire et dans l'industrie.
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