Occasion PSK DAS III #9243656 à vendre en France

PSK DAS III est un asher/etcher haute performance conçu pour fournir un contrôle complet sur les processus de gravure et d'ashing. Il est capable de produire une grande variété de processus personnalisés de la gravure standard de photolithographie à la pulvérisation avancée et la gravure ionique réactive. DAS III utilise des sources de chaleur doubles pour permettre une régulation et un contrôle précis de chaque processus de gravure, fournissant une production cohérente de résultats avec un minimum de dommages au substrat. L'équipement est conçu pour un traitement tridimensionnel et possède une capacité de vide élevée, permettant d'effectuer des opérations de gravure sans contamination. Le système dispose également d'un masque de balayage haute performance qui peut définir précisément le motif à graver, y compris les éventuelles irrégularités dans le motif que le PSK DAS III peut reconnaître et compenser. DAS III comprend une conception de chambre multi-zones, qui permet d'accorder différentes zones de processus de la chambre de gravure à différentes températures, permettant des gravures de forme précise et des profondeurs de gravure uniformes. Les interactions programmables garantissent que les paramètres de traitement, tels que la pression du gaz, la température et le débit, restent dans les limites optimales. En outre, une bibliothèque intégrée de cassettes offre un accès organisé aux pièces de travail, permettant le chargement et le déchargement efficaces des échantillons dans la chambre de gravure sans contamination. La température de la chambre est contrôlée à un maximum de 200 ° C, ce qui permet des taux de gravure élevés sans endommager les substrats thermosensibles. L'unité dispose également de systèmes de diagnostic intégrés, tels que des logiciels de collecte de données en temps réel et de surveillance des paramètres, qui aident les opérateurs à optimiser le fonctionnement de la machine. PSK DAS III comprend également une interface propre au laboratoire qui permet la compatibilité avec les processus de laboratoire et la collecte de données. Avec ses performances fiables et conviviales, DAS III offre un excellent contrôle sur votre processus de gravure.