Occasion PSK Evolite 2 #9259698 à vendre en France

Fabricant
PSK
Modèle
Evolite 2
ID: 9259698
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2011
Asher, 12" EFEM 2011 vintage.
PSK Evolite 2 est un graveur/asher avancé développé par PASS Equipment Korn Field GmbH. C'est un système de gravure et de cueillette très efficace et économe en énergie qui peut être utilisé pour toute une gamme d'applications. Il utilise la technologie PECVD la plus récente, ou Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, pour créer la gravure ou le processus d'ashing. Cette technologie est l'une des façons les plus efficaces et les plus rentables de graver les substrats, car elle nécessite moins de puissance que les méthodes traditionnelles de gravure et d'ashing. Evolite 2 a un design modulaire qui peut être personnalisé selon l'application, ainsi que d'avoir une tête PECVD pour contrôler le processus de gravure. Il est conçu pour graver et aspirer une variété de substrats dont le silicium, l'arséniure de gallium et les oxydes métalliques. Le processus de gravure et de cueillette peut être contrôlé et optimisé à l'aide de divers paramètres, tels que la pression, la température et la densité d'ions plasma. Ce niveau de contrôle et d'optimisation garantit que le meilleur résultat de substrat est atteint avec chaque processus de gravure/cueillette. PSK Evolite 2 dispose également d'une unité de nettoyage avancée qui aide à maintenir la propreté de la chambre de procédé et de son environnement. Cela garantit que tous les paramètres du processus sont maintenus pour des résultats de gravure et de cueillette optimaux. La chambre propre améliore également la répétabilité et la fiabilité du procédé, ce qui signifie que chaque lot de substrat traité avec la même recette aura des résultats cohérents. En outre, Evolite 2 dispose d'une machine de refroidissement supplémentaire pour éviter les dommages thermiques excessifs de la chaleur générée lors du processus de gravure/cueillette. L'outil de refroidissement permet également de maintenir le processus de gravure/ashing même si la température de l'environnement augmente, ainsi que d'offrir un niveau de sécurité supplémentaire en cas d'accident. Enfin, PSK Evolite 2 comprend également une caméra d'imagerie thermique qui fournit des images en temps réel de la chambre de procédé. Cela permet de s'assurer que les paramètres du processus sont correctement réglés et surveillés lors de chaque processus de gravure/ashing. Dans l'ensemble, Evolite 2 est un outil de pointe de gravure/cueillette qui fournit des résultats efficaces et cohérents. Il offre une grande polyvalence, car il peut être personnalisé pour répondre aux exigences d'une variété d'applications, ainsi que la possibilité de surveiller le processus de gravure/ashing en temps réel avec la caméra d'imagerie thermique. Cela en fait le choix idéal pour graver et aspirer une variété de substrats.
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