Occasion PSK Supra III #9281480 à vendre en France

PSK Supra III est un graveur/asher, conçu pour être utilisé dans des applications de traitement automatisé de semi-conducteurs. Il s'agit d'une solution de gravure/cendres à haute vitesse, haute pression et économique. L'équipement se compose d'un four à tube vertical intégral, d'une zone chaude multi-zones, d'une chambre planétaire rotative de gravure/cendres et d'une interface automatisée de contrôle des processus. Ce système permet un contrôle précis de la température et du temps du processus de gravure/cueillette. Le four à tubes verticaux présente une cavité de 33,5 pouces de diamètre et est capable d'atteindre une température maximale de 1220 ° C Le four dispose d'une zone de chauffage interne pour chauffer uniformément l'ensemble du tube de procédé. La zone chaude est composée de trois zones avec une entrée d'énergie électrique réglable et un contrôle de température indépendant. La zone chaude est composée d'une zone inférieure, d'une zone intermédiaire et d'une zone supérieure. La zone chaude assure une répartition uniforme de la température dans tout le tube de traitement. La chambre planétaire rotative de gravure/cendres est conçue pour fournir un profil de gravure/cendres optimal. La chambre est constituée d'un disque tournant qui maintient différents supports de substrat, tourne à des vitesses allant jusqu'à 13,5 tr/min et peut fonctionner à des pressions allant jusqu'à 303 mBar. La chambre comprend une unité automatique de douches à température contrôlée qui peut être utilisée pour une plus grande uniformité du profil gravure/cendres. La supra III comprend une interface de contrôle de processus entièrement automatisée pour le contrôle complet du processus de gravure/cueillette. L'interface permet de régler des paramètres tels que la température de pré-conditionnement, le temps de séjour de gravure/cendres, la pression du récipient, la vitesse de rotation du disque, la température de la douche et d'autres paramètres à définir. De plus, l'interface offre une vue complète du processus avec diverses options d'affichage. L'interface fournit également un suivi en temps réel et peut être utilisée pour générer des rapports en ligne. PSK Supra III est une solution de gravure/cendres idéale pour l'automatisation à haut débit. Il offre des performances cohérentes et fiables dans un environnement automatisé. En contrôlant avec précision la température et le temps du procédé, la machine permet des performances répétables de gravure/cendres. La flexibilité de l'outil le rend adapté à une large gamme de procédés de gravure/cendres.