Occasion PSK TERA 21 #9259689 à vendre en France
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ID: 9259689
Asher, 12"
(2) Chambers
EFEM
Transfer Module (TM)
Process Module (PM)
AC Rack
Cables
2004 vintage.
PSK TERA 21 est l'un des graveurs/cendres les plus avancés disponibles sur le marché. Il s'agit d'une solution innovante pour le procédé de gravure chimique et d'ashing pour le développement de caractéristiques fines et ultra-fines. Cet équipement est capable de produire des volumes importants en utilisant une faible empreinte. TERA 21 est équipé d'une large gamme de fonctionnalités adaptables d'amélioration de processus tels que la haute stabilité thermique, gravure à grande vitesse et ashing avec contrôle précis de la pression et de la température, fournissant un moyen fiable pour atteindre des temps de cycle rapides et des résultats répétables. Le système est doté d'une chambre à vide sans contrainte et d'un contrôle de température multi-zones qui permet de graver et de cendrer les matériaux avec précision et précision. Tous les réglages, paramètres, recettes et processus peuvent être préétablis et réutilisés en quelques minutes pour une gravure fiable et efficace. L'unité utilise un remblayage de gaz inerte et une température élevée pour éviter l'oxydation et la contamination de la surface gravée. Le graveur/asher utilise une machine spéciale de lavage au gaz pour empêcher toute particule fortement oxydée de sortir de la chambre de chauffage. PSK TERA 21 permet une sélectivité ultra fine qui est essentielle pour le traitement des micro-tailles complexes d'aujourd'hui. Il supporte un large éventail de matériaux différents, y compris l'alliage à haute température, TiN/TiWN, Au/Ti, Al/Ti et d'autres métaux précieux. La capacité à fonctionner à haute température permet de traiter des structures profondes et/ou étroites et des microstructures 3D complexes. L'outil dispose de contrôleurs embarqués, de logiciels d'exploitation et de minuteries, permettant l'automatisation complète du processus de gravure. Cet actif est conçu pour un fonctionnement et une maintenance faciles, et il peut être connecté à un réseau de surveillance et de traitement du transfert de données. TERA 21 est capable de produire des résultats reproductibles à haut cycle, ce qui en fait un choix idéal pour la recherche et la production, offrant une capacité de gravure et une précision maximales pour le développement réussi de caractéristiques fines et ultra-fines.
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