Occasion PSK TERA 21 #9270662 à vendre en France

PSK TERA 21
Fabricant
PSK
Modèle
TERA 21
ID: 9270662
Asher 2006 vintage.
PSK TERA 21 est un graveur/asher conçu pour permettre la gravure de précision et la cueillette de matériaux semi-conducteurs. Il s'agit d'un équipement piloté par ordinateur offrant une large gamme de capacités de processus, y compris la sélectivité, la haute précision, la gravure à basse pression, et la cendre de plasma en profondeur. Il est spécifiquement conçu pour répondre aux besoins de la fabrication avancée de semi-conducteurs. Le système est équipé avec un transmetteur de 13.56 MHz et 30MHz-400MHz reçoivent l'antenne. Ceci fournit la puissance RF nécessaire pour graver le matériau sur le substrat. L'antenne fonctionne également comme un récepteur, fournissant un signal de sortie qui est utilisé pour surveiller la réaction de gravure. Le processus de gravure est surveillé et contrôlé via le logiciel PC/SC, qui peut être utilisé pour ajuster les paramètres de gravure pour obtenir les résultats souhaités. L'unité dispose d'une source de plasma indépendante, permettant la sélectivité des gravures et l'optimisation des procédés. Il est également équipé d'une machine de distribution de gaz indépendante, permettant un contrôle précis des milieux de gravure. L'outil dispose également d'un loadlock intégré, permettant un chargement bidirectionnel de l'échantillon et réduisant le temps de cycle global. L'actif dispose d'un modèle automatisé de surveillance des processus, qui peut détecter les dérives de processus avant qu'elles ne deviennent graves. Cela permet d'assurer la cohérence et la fiabilité des processus. Le loadlock intégré de l'équipement permet des transferts rapides de plaquettes entre les étapes du processus, et son option de contrôle manuel permet une plus grande flexibilité pour le fonctionnement manuel. Le système est capable d'effectuer des gravures à des pressions aussi faibles que 1mTorr. Cela permet à l'unité de graver même les matériaux les plus délicats avec une distorsion minimale, assurant des résultats de gravure de haute précision. La machine dispose également d'une fonction intégrée de vérification des processus, qui permet d'assurer la répétabilité et la fiabilité des processus. Globalement, TERA 21 est un graveur/asher idéal pour la fabrication de semi-conducteurs, offrant une gravure de précision, un cendrage et un traitement plasma en profondeur. Sa combinaison de caractéristiques avancées, sa facilité d'utilisation et sa fiabilité en font une excellente option pour la gravure de précision et la cueillette de matériaux semi-conducteurs.
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