Occasion PSK TERA 21 #9355264 à vendre en France
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PSK TERA 21 est un équipement de graveur et asher hautement efficace et fiable spécialement conçu pour le traitement avancé dans l'industrie des semi-conducteurs. Ce graveur/asher polyvalent offre un débit et une flexibilité élevés pour un large éventail de procédés tels que la gravure en couches minces et le dépôt d'oxyde. TERA 21 est conçu avec un débit ultra-élevé de 200W sur une seule plaquette, il peut produire un débit jusqu'à 200nm/min. avec cette capacité, les systèmes compacts et monobloc sont en mesure de traiter rapidement jusqu'à 200 plaquettes/h. En outre, l'équipement polyvalent de distribution de gaz permet d'ajuster facilement une large gamme de niveaux de concentration de gaz, permettant aux utilisateurs d'adapter précisément leur recette de processus pour répondre à des exigences exigeantes. Le polyvalent PSK TERA 21 est également capable d'appliquer une large gamme de sources d'espèces réactives telles que le chlore, le trichlorure de bore, le fluor, le SF6 et d'autres produits chimiques utilisés dans le traitement des semi-conducteurs. Il est équipé de la technologie de circuit d'adaptation automatique RF qui permet de fournir avec précision et précision la concentration d'espèces souhaitée. Le système est également fiable et très précis, avec un contrôle de température tolérant jusqu'à ± 1 ° C, permettant des résultats de processus répétables à chaque fois. Cette unité de graveur/asher avancée offre également une excellente uniformité et rendement de produit de gravure. Ses systèmes avancés d'optique et de reconnaissance d'image garantissent la qualité du produit ainsi qu'un rendement élevé par tranche unitaire. De plus, la puissante machine de contrôle électronique et de moniteur vidéo fournit aux utilisateurs une interface facile à utiliser, rendant le processus de gravure/asher plus sûr et plus efficace. En résumé, TERA 21 est un outil de graveur/asher fiable et performant qui est idéal pour un traitement semi-conducteur avancé. Ses systèmes de distribution de gaz polyvalents assurent une livraison précise des espèces recherchées, et les débits ultra-élevés permettent une production allant jusqu'à 200nm/min. En outre, le contrôle de température, les systèmes de reconnaissance d'image et le moniteur vidéo offrent une interface facile à utiliser pour le contrôle complet du processus.
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