Occasion PSK TERA 21S #9241274 à vendre en France

PSK TERA 21S est un graveur/asher de pointe fabriqué par PSK Technologies. Il est conçu pour le traitement de plaquettes haut de gamme et d'autres matériaux minces tels que le dioxyde de silicium et le polyimide. Elle est particulièrement bien adaptée aux applications de fabrication de semi-conducteurs, MEMS et microsystèmes de pointe. L'équipement dispose d'une interface PLC (Programmable Logic Controller) pour une intégration facile dans une variété de systèmes d'automatisation. TERA 21S est conçu pour le traitement de substrat au niveau de la production dans les dimensions 200mm et 300mm wafer. Il utilise un balayage linéaire avec des étapes décalées pour la répartition uniforme des gravures/cendres sur le substrat. Un pré-alignement automatique permet un alignement répétable de la position et de l'orientation pour tous les lots. Une source de plasma multi-étain sans contact et sans gaz fournit des conditions uniformes de dépôt de gravure/cendres à travers la plaquette. Le système est également équipé d'une unité d'arrêt séquentiel en cinq étapes pour assurer le maintien de caractéristiques électriques fiables. PSK TERA 21S est bien adapté pour une utilisation dans un scénario continu de traitement par lots. Il a plusieurs caractéristiques telles que les vitesses de processus réglables, la chimie NF sans chlore, et les capacités de soudage à l'arc plasma (PAW). Il dispose également d'une capacité de mesure en ligne qui permet d'ajuster en temps réel les paramètres du processus. Cela permet un étalonnage rapide et facile de la machine pour des résultats optimaux. TERA 21S comprend également un robot de manutention à haut débit, conçu pour le chargement et le déchargement rapides et précis du substrat. Ce robot dispose d'un outil de mouvement basé sur la reconnaissance des motifs, qui permet de gagner du temps et de réduire les erreurs. Le robot dispose également d'un filtre à ions métalliques actif, qui permet d'assurer des résultats de gravure/cendres de haute qualité. L'actif a également des capacités de température élevées avec une plage de température de -20 à + 250 ° C PSK TERA 21S est entièrement compatible avec la certification ISO-9002 et SANTON, garantissant des résultats de gravure/cendres de haute qualité. Avec ses temps d'exécution rapides, sa logique programmable configurable, son pré-alignement automatisé et sa source de plasma multi-étain sans contact et sans gaz, le modèle est un choix idéal pour la gravure/cueillette de haute précision des plaquettes et autres matériaux minces.