Occasion PVA 650 #293765024 à vendre en France

PVA 650 est un graveur/asher utilisé pour l'élimination de photorésists de film et d'autres matériaux dans une variété d'applications de traitement de plaquettes semi-conductrices. Il est équipé d'une source de plasma, d'une chambre principale de traitement, d'une chambre d'échappement et d'un équipement de manutention de plaquettes. La source est un système alimenté par le gaz qui utilise l'oxygène, l'argon, l'azote, le chlore et d'autres gaz spécialisés comme espèces réactives. La chambre principale est contrôlée en température pour un traitement précis et est équipée d'un distributeur de type tête de douche, qui répartit uniformément les gravures sur la surface de la plaquette. La chambre d'échappement est conçue pour fonctionner à basse pression et recueillir les sous-produits créés au cours du processus. L'unité de manutention des plaquettes se compose d'un bras robot qui transfère les plaquettes à travers la machine et d'une chambre de serrure pour transférer les plaquettes à l'intérieur et à l'extérieur de l'outil. 650 est un actif à double chambre qui combine gravure plasma haute densité et chimique pour obtenir des rendements de gravure maximaux et des délais de traitement les plus courts. La gravure par plasma est utilisée pour éliminer préférentiellement les couches de films plus minces, tandis que la gravure chimique est utilisée pour atteindre la vitesse de gravure souhaitée. La surface de la plaquette est traitée par des ions générés par la source de plasma, ce qui confère un mouvement directionnel aux molécules de gravure, d'où une vitesse de gravure élevée et des profils de gravure cohérents. L'Etcher/Asher dispose également d'un certain nombre de fonctions de flexibilité de processus et de contrôle, telles que la manutention télécommandée des plaquettes, la détection des points d'extrémité, le contrôle de la température et le contrôle de la concentration de chlore et d'oxygène. PVA 650 est conçu spécifiquement pour l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs, permettant un ensemble complet d'opérations de traitement des plaquettes. C'est un graveur/asher efficace et polyvalent, capable d'obtenir des profils de gravure très uniformes et un débit élevé. Il est conçu pour fournir une solution de traitement des plaquettes propre, sûre et économique, tout en répondant aux exigences de processus et aux normes industrielles les plus exigeantes.