Occasion PVA 650 #293804324 à vendre en France

PVA 650 est un graveur/asher développé par Plasma-Therm, un leader mondial de la technologie de haute précision par radiofréquence (RF). Il est conçu pour une variété de matériaux de substrat. 650 est le mieux adapté pour les substrats de taille allant de la filière unique à la plaquette complète et il a été optimisé pour les processus de front-end-of-line (FEOL) et de back-end-of-line (BEOL). PVA 650 est un équipement de micro-gravure moyenne, avec une chambre qui mesure 51,2 dans x 51,2 dans x 43 dans (LxWxH). Le système de vide avancé, les chambres en acier inoxydable et en céramique, et les commandes à écran tactile intégrées en font un choix optimal pour une variété d'applications de gravure et de cendrage. L'unité a une pression de base typique de 6 x 10-7 Torr et la technologie pour lui permettre de maintenir des températures de processus élevées (jusqu'à 540 ° C). 650 utilise une technologie de radiofréquence à couplage inductif pour générer un environnement plasma pour des processus de gravure et d'ashing hautement contrôlés et efficaces. Il utilise des régulateurs de masse à cathode chaude et à « froid » pour assurer un contrôle précis du plasma et des gaz de gravure. Le PVA 650 est également équipé d'une unité d'alimentation bipolaire, lui permettant de produire des niveaux de puissance indépendants positifs et négatifs pour aider dans les applications de gravure. Les fonctionnalités avancées de 650 lui permettent de fournir un excellent contrôle de processus et la répétabilité. La tête de douche programmable de la machine peut être utilisée pour assurer une couverture complète de substrats même complexes. Son électrode tournante règle le champ électrique radiofréquence et la puissance impulsionnelle pour une adaptation précise des vitesses de gravure. Le PVA 650 dispose également d'une recharge automatique, permettant une interaction minimale avec l'opérateur et assurant des opérations de gravure et d'ashing ininterrompues pour des parcours prolongés, avec des temps de cycle allant de 30 secondes à plusieurs heures, selon le type de processus requis. 650 est également construit pour l'exploitation et la performance à long terme. L'outil est conçu pour une stabilité dimensionnelle serrée et utilise des dispositifs de sécurité émergents tels qu'un outil de purge d'azote, des serrures avancées et une trappe à ouverture rapide pour la sécurité des opérateurs. Dans l'ensemble, PVA 650 est un excellent choix pour une variété d'applications de gravure et d'ashing. Ses caractéristiques avancées, sa technologie robuste et sa répétabilité assurée en font un choix idéal pour ceux qui ont besoin d'un contrôle précis des processus et d'une fiabilité à long terme.