Occasion PVA 650 #293805825 à vendre en France

PVA 650 est un graveur-asher fabriqué par Paul V. Anderson. Cet équipement est conçu pour des applications nécessitant une gravure/cueillette précise des plaquettes et des substrats. 650 convient à la production de dispositifs semi-conducteurs, à la recherche et au développement, aux essais, à l'étalonnage et au contrôle des procédés de la chaîne de production. Le PVA 650 est un équipement à deux chambres dont l'une sert à la gravure et l'autre à la cendre. La chambre de gravure est équipée de quatre têtes de douche en quartz avec un débit total de 9 pieds cubes par minute (CFM) de gaz de gravure qui est de 0,75 % Freon-CF ² -4 (CFC14) et 99,25 % d'azote sec (N ²). La chambre de cueillette est équipée de deux têtes de douche en quartz avec un débit total de 1 CFM d'azote et 2 CFM d'oxygène. Le système de régulation de température de la 650 dispose d'une boucle de rétroaction thermique qui assure la stabilité à haute température de la chambre de gravure/cueillette. L'unité PVA 650 dispose également d'un contrôleur logique programmable de haute technologie (PLC) avec un contrôle intuitif de l'utilisateur et des fonctionnalités de protection thermique avancées. Le PLC permet à l'utilisateur de contrôler les paramètres du processus de gravure/ashing qui comprennent le temps, la température, le débit et la pression. La machine comprend également un moniteur d'ordinateur intégré et une interface utilisateur pour le contrôle unique de l'outil et le contrôle manuel des réglages. 650 est solide et fiable, étant construit principalement en acier inoxydable et en téflon. La chambre de gravure/cueillette est conçue pour résister à des températures allant jusqu'à 650 ° Celsius (1202 ° Fahrenheit), ainsi qu'à une pression et un vide élevés. 650 est livré de série avec les accessoires suivants : alimentation électrique, transducteur de pression, transducteur de température, vanne de contrôle du débit de gaz, clé de verrouillage de 1/4 ", et PVA-PVA 650 PLC actif informatique intégré. 650 est conçu pour répondre à une variété de besoins, offrant une gravure précise et un dépôt chimique en phase vapeur dans divers dispositifs semi-conducteurs. Il convient au traitement de plaquettes minces, de substrats et d'autres microstructures. Ce modèle fiable est conçu pour permettre des processus reproductibles, une gravure supérieure, des performances de cendrage et de CVD, un faible coût de propriété et un débit élevé.