Occasion PVA TEPLA 400 #9137637 à vendre en France

PVA TEPLA 400 est un graveur/asher développé par la société Plasma-Therm. L'équipement est une forme de traitement plasma éprouvé sur le terrain pour une large gamme d'applications de gravure et de cendres. Il offre une chambre de procédé unique pour répondre aux exigences de gravure et de cendres dans une conception combinant graveur/cendrier, fournissant une solution rentable pour le traitement avancé des semi-conducteurs. 400 utilise la technologie du plasma diélectrique assisté (DAP) pour créer une grande variété de gravures de plasma et de cendres. Il est capable de graver et d'aspirer n'importe quoi des métaux, à la céramique, aux polymères et aux matériaux complexes. La possibilité de commuter facilement entre la gravure et l'ashing permet d'utiliser le système pour une variété de processus, y compris damascène, isolation des tranchées peu profondes (STI), structures d'isolation des tranchées (TIS), et via des trous. L'unité permet des vitesses de gravure élevées allant jusqu'à 15 microns par minute pour la gravure totale, tout en maintenant une profondeur de précision et une précision de 1 à 3 microns. La conception de la chambre offre un contrôle de gravure jusqu'à 20 angströms et une uniformité de gravure supérieure à 5 %. La conception du port de chargement et de la chambre intègre une séquence de processus de recette monobloc avec une capacité multi-plaquettes pour augmenter le débit. Il permet également la stabilisation de la chambre pour la meilleure qualité et reproductibilité des plaquettes. PVA TEPLA 400 est une machine hautement personnalisable, permettant une intégration efficace dans les lignes de production existantes. L'outil est conçu pour des plaquettes de 200 mm et de petit diamètre de 300 mm, et peut être adapté pour répondre à un large éventail d'exigences analytiques et diagnostiques, y compris la conception flexible de susceptor, conception d'inducteurs cylindriques, sources de gaz multiples, et la capacité de cartographie pour assurer l'uniformité. Au total, 400 fournit une solution performante et rentable aux problèmes de gravure et de cendres dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. La conception de la combinaison etcher/asher, la capacité flexible pour diverses applications de processus, et les fonctionnalités personnalisables en font une solution idéale pour divers dispositifs semi-conducteurs avancés.