Occasion PVA TEPLA 600 #68457 à vendre en France

PVA TEPLA 600 est un graveur/asher haute performance utilisé pour éliminer les couches de dioxyde de silicium et de nitrure de silicium de nombreuses surfaces pour la production de mémoire et de puce logique. Le système est un outil de gravure à haute température, assisté chimiquement, qui permet aux utilisateurs de nettoyer rapidement et efficacement les couches de dioxyde de silicium et de nitrure de silicium avec des vitesses de gravure égales. Cette plaque unique est dotée d'une excellente résolution et d'un débit élevé avec une faible consommation chimique, ce qui donne des rendements élevés et des motifs extrêmement précis sur le substrat. 600 est une gravure/asher à assistance chimique, c'est-à-dire que les surfaces sont traitées à la fois par plasma et par chimie qui réagissent avec les surfaces du substrat. Le cendrier permet d'obtenir des résidus ultra bas pour améliorer les performances de contact électrique et adhésif. Son procédé de gravure propriétaire, assisté par le chargement, permet des taux de gravure uniformes, ce qui donne des rendements élevés et une excellente résolution. Le TEPLA PVA TEPLA 600 offre des capacités de faible consommation chimique, grâce à ses produits chimiques de recirculation et sa fonction anticontamination cyclique. La fonction chimique de recirculation permet de réduire au minimum les déchets chimiques coûteux, en optimisant les coûts de reconstitution chimique. Cette technique de recirculation permet également d'améliorer l'homogénéité de la vitesse de gravure. 600 comprend un système de régénération chimique intégré et automatisé, qui permet de prolonger la durée de vie des produits chimiques. D'autres caractéristiques comprennent une alimentation programmable haute tension, des capacités de dosage lithographique complet, et un mélange flexible de gaz de procédé. Le mélange automatisé de gaz permet plusieurs recettes de gravure, ainsi qu'une configuration de loadlock. L'anticontamination cyclique et un schéma d'injection chronologique sont inclus pour améliorer le contrôle réactionnel. PVA TEPLA 600 est un outil idéal pour enlever les couches de dioxyde de silicium et de nitrure de silicium des plaquettes. Les caractéristiques de haute technologie du système, telles que la recirculation des produits chimiques et le mélange automatisé des gaz, combinées à une faible consommation de produits chimiques, permettent aux utilisateurs d'obtenir des modèles précis avec des rendements maximaux à des coûts minimums.