Occasion PVA TEPLA / METROLINE 400 #9266257 à vendre en France

PVA TEPLA/METROLINE 400 est un équipement graveur/asher conçu pour la gravure précise et la cueillette de substrats pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Ce système utilise une technologie brevetée et éprouvée de production de plasma pour transférer l'énergie électrique dans une décharge gazeuse, produisant un plasma uniforme et homogène qui crée des conditions idéales de gravure et de cendrage. L'unité dispose d'un mandrin motorisé pour un transfert sécurisé du substrat, un contrôle automatique des paramètres pour des profils de gravure cohérents, une filtration d'échappement à haut rendement et une construction rigide pour une uniformité de gravure précise. La machine est conçue avec un certain nombre de caractéristiques de sécurité, y compris la protection contre les interférences, la surveillance du débit de gaz inerte et la protection contre les températures excessives. Le graveur/asher possède une grande chambre de gravure qui assure une gravure uniforme sur tout le plan du substrat. Une soufflante à vide intégrée maintient une atmosphère constante à l'intérieur de la chambre. Un régulateur de débit massique rapide et précis régule le rapport des gaz utilisés pour la gravure et l'ashing. Une antenne elliptique horizontale génère un plasma RF basse fréquence, produisant un profil de gravure uniforme avec de faibles niveaux d'interaction de surface d'énergie RF. L'outil est également compatible avec une grande variété de gaz dont O2, CF4, CHF3, HBr, NH4F et NF3. Il dispose également d'un régulateur de température capable d'atteindre des températures maximales jusqu'à 240 ° C et comprend un thermocouple de précision et un dispositif de chauffage pour un contrôle précis de la température. PVA TEPLA 400 dispose également d'un mécanisme intégré de refroidissement du substrat qui assure un refroidissement rapide des pièces de gravure et de cendrage après gravure et cendrage. En plus des capacités de gravure du modèle, l'équipement comprend également un progiciel qui permet à l'utilisateur de surveiller et de contrôler tous les paramètres du système, et une connexion standard à l'unité de gestion de processus propriétaire de PVA Dataway. Ces fonctionnalités permettent une journalisation complète et le contrôle des processus de gravure et d'ashing, donnant à l'utilisateur le contrôle complet sur leur processus. Cette machine peut être utilisée dans des environnements de fabrication nécessitant une gravure et un cendrage précis et à haut rendement.