Occasion PVA TEPLA SAM 300 #293640742 à vendre en France
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PVA TEPLA SAM 300 est un graveur ou cendrier, spécialement conçu pour les processus de gravure et de cendrage par plasma, qui utilise un mandrin rotatif breveté fonctionnant comme la plaque de base. Cette technologie offre une approche très fiable, flexible et précise des étapes de gravure dans des procédés tels que le polissage mécanique chimique (CMP), la gravure des vias de silicium traversant (TSV) et l'amincissement des plaquettes. La plaque est en acier inoxydable avec une plaque de base anodisée, ce qui permet une plus grande stabilité chimique. Le mandrin rotatif comprend deux chambres de produits chimiques vaporisés et une chambre de gaz neutre, avec une conception unique qui fournit un processus plasma uniforme et répétable avec un fonctionnement automatisé. La température est contrôlée à ± 2 ° C avec des rendements élevés et un contrôle serré des paramètres plasmatiques. PVA TEPLA SAM300 est capable de traiter des plaquettes jusqu'à 300mm à une température maximale de 450 ° C Sa conception logicielle avancée permet un contrôle exhaustif des paramètres de gravure et de nettoyage tels que la température du substrat, le temps, la pression et la puissance du plasma, ce qui permet une flexibilité et une précision dans les processus de gravure et de cueillette. La conception à base de chambre assure également la protection des plaquettes contre la contamination et les dommages chimiques dus à la séparation des produits chimiques de gravure et de cendrage. Ses capacités de manutention des plaquettes ont des garanties intégrées qui protègent les substrats contre les erreurs humaines, obtenant constamment des taux de rendement supérieurs, quel que soit le niveau de l'opérateur. La norme SAM 300 a été conçue et testée pour assurer la conformité de la sécurité aux normes EDD applicables, ce qui garantit la sécurité des opérateurs. SAM300 elle-même possède des composants non magnétiques, ce qui la rend adaptée aux environnements de salle blanche ou de laboratoire. Il dispose d'un panneau tactile LCD couleur 7 pouces, avec une interface utilisateur graphique qui est conviviale, intuitive et facile à apprendre et à utiliser. Le panneau tactile est accessible de n'importe quel côté de la machine, ce qui permet de visualiser et de contrôler facilement le processus de gravure et de cueillette. Dans l'ensemble, PVA TEPLA SAM 300 est une solution fiable et efficace pour les processus de gravure et de cueillette de plasma dans l'industrie des semi-conducteurs, parfaite pour les exigences exigeantes des laboratoires et des environnements de production. Il offre une précision et une répétabilité supérieures, générant d'excellents rendements avec un contrôle serré des paramètres plasmatiques. Avec sa configuration opérationnelle rapide et facile, PVA TEPLA SAM300 est idéal à la fois pour des calendriers de production serrés et des travaux de recherche et développement avancés.
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