Occasion PVA TEPLA / TECHNICS 300-E #9049959 à vendre en France
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ID: 9049959
Plasma cleaning unit
Applications:
Photoresist stripping
Mask etching
Surface cleaning
Etching of class and ceramics
Etching of SiO2
Si3N4
Si
Removal of Polyimid and
Passivation layer process chamber
Quartz with Kapton cover
(3) Separate gas channels
Maximum rate per channel: 500 sccm
Working pressure: 0.5-1.5 mbar
250 V, 15 A.
PVA TEPLA/TECHNICS 300-E est un graveur/asher qui est utilisé pour diverses opérations de finition de surface. Cet etcher/asher a une grande variété de caractéristiques et d'applications. TECHNICS 300-E utilise un processus de chauffage résistif pour graver et asher rapidement les surfaces. Il est capable de soumettre les pièces à une plage de température allant jusqu'à 250 ° C, une plage de régulation de température allant jusqu'à ± 1 ° C et une plage de régulation de temps allant jusqu'à 30 sec. La précision de régulation de température est ± 2 ° C et réglable par paliers de 0,1 ° C Ce graveur/asher est conçu pour le traitement thermique monocouche et peut fonctionner en mode vertical et horizontal. Il dispose également d'une conception de réservoir à vide qui permet une répétabilité précise du processus pour des résultats plus précis et cohérents. Cet etcher-asher est équipé d'un système de sécurité automatique qui comprend un régulateur de température IC et un dispositif de défaut au sol, ainsi qu'un interrupteur d'arrêt d'urgence. Le système de refroidissement intégré assure qu'il ne dépasse pas la limite de température opérationnelle protégeant ainsi les échantillons. PVA TEPLA 300E fournit diverses configurations de gravure et d'ashing telles qu'une seule plaquette, un lot et un demi-lot. Il a une taille de chambre de procédé de 200 mm (largeur) x 300 mm (longueur) x 250 mm (profondeur) avec des éléments chauffants SiC pour le chauffage uniforme des échantillons. Il est également capable de traiter des plaquettes de 14 pouces. Dans l'ensemble, 300-E est un graveur/asher conçu pour des opérations de finition de surface efficaces et précises. Il est équipé d'une grande variété de caractéristiques, y compris la taille de la chambre de processus, le contrôle de la température, le contrôle du temps réglable, l'interrupteur d'arrêt d'urgence, et le contrôle de la température IC. Il comprend également diverses configurations de gravure et d'ashing pour répondre aux besoins spécifiques des opérateurs.
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