Occasion PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 380P #293744535 à vendre en France

PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 380P
ID: 293744535
Plasma system Gas: O2.
PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 380P est un graveur/asher à plasma haute performance conçu pour fournir un traitement précis et uniforme des substrats dans les industries des semi-conducteurs, des MEMS et des emballages avancés. Cet équipement de pointe combine des technologies innovantes avec une ingénierie supérieure pour fournir des résultats cohérents et fiables pour un large éventail d'applications. Au cœur de TECHNICS Gigabatch 380P est sa source de plasma couplé capacitivement (CCP) à double fréquence, qui génère un plasma très efficace et permet le traitement à basse température d'une variété de matériaux. Ce système est équipé de multiples entrées de gaz, permettant un contrôle précis de la chimie du procédé et permettant la gravure ou la cueillette de divers substrats avec une grande sélectivité et uniformité. PVA TEPLA Gigabatch 380P dispose d'une grande chambre à haut débit, ce qui la rend apte à traiter plusieurs échantillons simultanément ou des substrats de grande surface. L'unité est conçue pour accueillir différentes tailles de plaquettes, de petites pièces à des plaquettes de 300mm, offrant une flexibilité pour différents besoins de recherche et de production. Pour la flexibilité et l'optimisation des processus, Gigabatch 380P est équipé de capacités avancées de surveillance et de contrôle des processus. Les outils de surveillance des processus en temps réel, tels que la spectroscopie optique d'émission (OES) et les contrôleurs de débit massique, permettent des ajustements précis et précis des paramètres de processus pour obtenir les résultats souhaités de manière cohérente. PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 380P offre une large gamme de recettes de processus et de paramètres personnalisables pour répondre aux exigences spécifiques des applications. Les utilisateurs peuvent facilement programmer et modifier les séquences de processus grâce à une interface intuitive et conviviale, offrant flexibilité et contrôle sur le processus de gravure ou d'ashing. En termes de sécurité et de fiabilité, TECHNICS Gigabatch 380P est conçu avec des systèmes de confinement et d'échappement du plasma robustes pour assurer la protection des opérateurs et la conformité environnementale. La machine dispose d'emboîtements de sécurité complets et de capteurs pour prévenir les risques potentiels et maintenir un environnement de fonctionnement sûr. La maintenance et l'entretien de PVA TEPLA Gigabatch 380P sont simples et efficaces, avec un accès facile aux composants critiques et une conception modulaire pour un remplacement rapide ou des mises à niveau. L'outil est construit avec des matériaux et des composants de haute qualité pour assurer la performance et la fiabilité à long terme, minimisant les temps d'arrêt et maximisant la productivité. Dans l'ensemble, Gigabatch 380P est un atout de pointe pour les graveurs et astres de plasma qui offre des capacités de processus avancées, un contrôle précis et un débit élevé pour des applications exigeantes de semi-conducteurs et de microélectronique. Avec son design innovant, ses performances puissantes et son interface conviviale, PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 380P est un outil précieux pour les chercheurs et les fabricants qui cherchent à obtenir un traitement précis et uniforme des substrats avec une haute qualité et efficacité.
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