Occasion RUIMING HESL012 #9356202 à vendre en France

RUIMING HESL012 est un graveur/asher qui utilise la technologie du dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) enrichi par plasma. Cet équipement est conçu pour produire des films d'oxyde, des films de silicium polycristallin et d'autres matériaux de couches minces pour des applications de circuits intégrés. Il a une surface de plateau métallique de 200mm × 200mm et une source d'énergie haute fréquence de jusqu'à 40KHz. La source d'énergie peut être réglée à un maximum de 1080W et le système de gaz peut être réglé pour un débit maximal de 250 SCCM (centimètres cubes standard par minute). En outre, il est capable d'exécuter plusieurs modes de processus tels que le mode gravure de plasma, le mode gravure d'ions, le mode dopant d'ions, et d'autres. Le procédé de gravure PECVD utilise du gaz réactif ou inerte pour créer du plasma en appliquant une puissance haute fréquence au niveau de la chambre. Le gaz est ionisé et ses activités chimiques et physiques décomposent les liaisons entre le substrat et la couche de dioxyde de silicium pour former un revêtement d'oxyde uniforme et dense. Pour créer une couche d'oxyde suffisante, plusieurs paramètres de processus peuvent être ajustés en fonction des résultats souhaités. Il s'agit notamment du niveau de puissance, de la pression, du débit de gaz, etc., qui permettent un contrôle précis de l'épaisseur du film, de la rugosité superficielle et d'autres propriétés de l'oxyde. HESL012 etcher/asher possède également une pompe à vide, un thermocouple et des dispositifs de régulation de la température. La pompe à vide aide à l'évacuation de la chambre de réaction et lui permet de fonctionner correctement. Le thermocouple mesure la température de surface du substrat, tandis que l'unité de régulation de température ajuste la température à l'intérieur de la chambre pour maintenir le résultat souhaité. Ce graveur-asher est équipé de systèmes de refroidissement de l'eau et de filtration de l'air qui aident à maintenir la température de la machine et à assurer un environnement de travail sûr. En conclusion, RUIMING HESL012 etcher/asher est une machine puissante et précise qui intègre la technologie avancée PECVD. Il s'occupe efficacement des tâches de gravure et de recuit dans la réalisation de films d'oxyde de haute qualité et d'autres matériaux à couches minces pour circuits intégrés. En plus du traitement efficace des structures micro-échelle, il offre également d'excellentes caractéristiques de sécurité.