Occasion SAMCO PD-270STA #9055166 à vendre en France

SAMCO PD-270STA
Fabricant
SAMCO
Modèle
PD-270STA
ID: 9055166
Style Vintage: 2001
Sputtering system 2001 vintage.
SAMCO PD-270STA est un graveur/asher de haute qualité conçu pour les procédés de fabrication microélectronique. C'est un outil très efficace et fiable qui combine gravure plasma et technologie de gravure ionique réactive. PD-270STA dispose d'une variété de fonctionnalités avancées pour maximiser les performances, y compris un équipement multi-segmentaire pour des paramètres de gravure optimisés, un système de positionnement de substrat de haute précision, et une unité de distribution multi-gaz intégrée. L'unité multi-segmentaire de SAMCO PD-270STA améliore l'efficacité et l'uniformité des gravures en permettant aux utilisateurs de définir des paramètres de gravure optimisés pour chaque zone de la chambre de gravure. Cette machine permet aux utilisateurs de régler le temps de fonctionnement, la puissance, les débits de gaz et d'autres paramètres pour chaque segment et d'assurer une gravure uniforme du substrat. L'outil de positionnement de substrat très précis de PD-270STA assure un traitement précis d'une large gamme de matériaux de substrat. L'actif est capable de mouvements latéraux à haute résolution de 12 bits et verticaux de 10 bits pour la manipulation d'une variété de substrats allant de 0,008 pouces à 6 pouces de taille. L'unité de distribution multi-gaz intégrée est conçue pour maximiser l'efficacité du processus de gravure en fournissant un mélange précis de gaz réactifs. L'unité assure une répartition uniforme du plasma sur le substrat afin d'améliorer l'uniformité de gravure. SAMCO PD-270STA est capable de fonctionner à haute et basse fréquence avec une puissance plasmatique pouvant atteindre 250 watts et une vitesse de gravure pouvant atteindre 0,7 micron/minute. Le dispositif est adapté à une utilisation dans des procédés de production de microélectronique incluant la gravure d'oxyde de silicium, la gravure de silicium, la gravure de métal, et d'autres procédés. PD-270STA est un modèle de gravure très fiable et économique conçu pour gagner du temps et de l'argent dans la production de microélectronique. Ses fonctionnalités avancées en font un outil idéal pour divers processus de gravure et applications.
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