Occasion SAMCO RIE-10N #9014948 à vendre en France
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ID: 9014948
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Etcher, 8"
1996 vintage.
SAMCO RIE-10N est un outil de gravure à plasma à chambre unique qui utilise la gravure ionique réactive (RIE) pour l'enlèvement de matériaux ultra-précis. L'équipement se caractérise par son empreinte compacte et ses taux de gravure élevés, et est capable de traiter la plupart des applications de gravure routinières, telles que le strippage photorésist, l'élimination diélectrique, la gravure isotrope au silicium et plus encore. RIE-10N est équipé pour manipuler un large éventail de substrats dont le silicium, le quartz, l'aluminium et une variété de matériaux de métallisation. Le système est conçu pour être très efficace, permettant aux utilisateurs de terminer leur processus de gravure désiré en moins de la moitié du temps pris par les systèmes conventionnels. Il intègre également une création de recette en une étape pour des résultats reproductibles et cohérents ainsi qu'une interface utilisateur graphique intuitive. L'outil dispose d'une chambre source, d'une unité de pompage et d'une large gamme de systèmes de distribution de gaz pour contrôler l'écoulement des gaz de protection. Il comprend également une source d'ions pour générer du plasma, un accélérateur de faisceau pour canaliser les ions dans la chambre ainsi qu'une source de pulvérisation pour compléter le processus de gravure. La machine peut être configurée avec différents procédés de gravure et de pulvérisation de plasma, y compris le plasma à couplage inductif (ICP) et la gravure diélectrique. SAMCO RIE-10N fournit aux utilisateurs des fonctionnalités avancées telles que l'auto-étalonnage des paramètres plasmatiques pour atteindre la répétabilité répétable. Il dispose également d'une fonction d'automatisation pour réaliser des temps d'arrêt et des économies de coûts, tout en minimisant le risque de contamination par des particules destructrices. D'autres caractéristiques incluent un programme d'auto-sélection pour optimiser le processus de gravure ionique réactive, ainsi qu'une construction de chambre à double paroi pour un environnement propre. RIE-10N est équipé d'un moteur d'entraînement bidirectionnel de haute précision pour un déplacement rapide, précis et répétable de la table de travail, minimisant la largeur de bande et réduisant les dommages accidentels à la chambre. Il utilise également un outil de livraison de gaz à haute performance pour assurer une stabilité à long terme et des résultats uniformes. La caractéristique distincte de SAMCO RIE-10N est le contrôle avancé de la température, qui garantit que les processus de gravure se déroulent à des températures constantes pour obtenir une excellente répétabilité du processus. Ceci est particulièrement important dans le traitement de matériaux délicats et stimulants tels que la résine photosensible, les polyimides et les matériaux organiques. Globalement, RIE-10N est un outil de gravure robuste et fiable qui garantit des résultats de gravure fiables et uniformes. Toutes ses caractéristiques fonctionnent en harmonie pour garantir des résultats de processus précis et reproductibles à chaque fois, ce qui en fait une solution idéale pour les travaux de gravure avancés.
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