Occasion SAMCO RIE-10N #9354075 à vendre en France

Fabricant
SAMCO
Modèle
RIE-10N
ID: 9354075
Taille de la plaquette: 8"
Etcher, 8".
SAMCO RIE-10N est un graveur/asher fabriqué par SAMCO, un équipementier japonais de premier plan dans le domaine des dispositifs semi-conducteurs. Cette machine fournit un processus de gravure/cendres robuste et fiable pour créer des motifs complexes dans une large gamme de substrats. RIE-10N est équipé à la fois d'une chambre de réaction et d'une chambre de traitement pour la gravure simultanée et la cueillette des surfaces des plaquettes et des substrats. La chambre de réaction est chauffée séparément de la chambre de traitement, ce qui permet à l'utilisateur de contrôler avec précision la température d'une gravure ou d'un processus de cendres. Le contrôle serré de la température de la chambre de réaction est important pour créer des caractéristiques de surface stratégiquement conçues dans les plaquettes et autres surfaces. SAMCO RIE-10N est capable de scalper et d'aspirer des substrats jusqu'à 20 « x 20 » de taille. Une source de plasma à couplage inductif (ICP) est intégrée à la machine, permettant d'effectuer simultanément la gravure et la cueillette. Cette caractéristique est intéressante, car elle réduit considérablement le temps de traitement et permet à l'utilisateur d'atteindre des tolérances dimensionnelles très serrées. RIE-10N est également équipé d'un grand équipement sous vide avec une pression de base de 1.3x10-5 Torr. Cela permet d'obtenir des résultats de gravure plasma de très haute qualité, ce qui rend la machine adaptée à de nombreuses applications de gravure et de cendrage. SAMCO RIE-10N dispose d'une interface graphique conviviale qui facilite un fonctionnement efficace et permet un contrôle précis des paramètres tels que le débit de gaz, la température, la pression et la puissance RF. La machine peut être équipée d'un mandrin sous vide ou d'un système non sous vide pour le traitement ultra fin de n'importe quel substrat. Une unité optionnelle de détection du point final permet aux utilisateurs de contrôler le processus de gravure et de cendre et d'identifier rapidement le point final du processus. RIE-10N est également livré avec des dispositifs de sécurité avancés tels qu'une machine d'interception intégrée qui empêche le personnel d'entrer dans la chambre de traitement en fonctionnement et un outil d'alarme pour alerter les utilisateurs en cas d'urgence. Toutes ces caractéristiques combinées font de SAMCO RIE-10N un excellent choix pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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