Occasion SAMCO RIE-10N #9407762 à vendre en France

SAMCO RIE-10N est un équipement de gravure et de cueillette utilisé principalement dans la fabrication de puces en silicium. Il peut rapidement éliminer les photorésist et autres contaminants de surface des substrats de silicium. Le système permet un contrôle précis des paramètres tels que la vitesse de gravure, la température de la plaquette, la pression, le débit de gaz et les rapports de mélange des gaz. Il est conçu pour répondre au besoin de production à haut débit, tout en fournissant des résultats de gravure et de cueillette reproductibles et uniformes. RIE-10N est conçu pour offrir un fonctionnement flexible et un entretien facile. Sa conception est modulaire, permettant un accès facile aux composants et des remplacements rapides. Il est construit avec des cadres en aluminium, des systèmes de contrôle de l'humidité et de la température, et des plateaux perforés en acier inoxydable pour un entretien facile. Ses caractéristiques comprennent un moniteur de vitesse de gravure en temps réel, une unité de contrôle de la température et de la pression, une machine de contrôle du débit de gaz contrôlée par microprocesseur et des rapports de mélange du débit de gaz contrôlé par microprocesseur. SAMCO RIE-10N est équipé d'une table rotative pour faciliter le transfert des substrats dans la chambre à vide. Son outil de chargement de cassettes flexible permet de charger jusqu'à 10 cassettes en même temps, et de les transférer au générateur RF pour le traitement du substrat. Le contrôle électrique est également fourni, et l'actif peut traiter des plaquettes simples jusqu'à 8 "de diamètre. Le générateur RF est conçu pour offrir précision et flexibilité dans le traitement des substrats, tout en fournissant des résultats reproductibles. RIE-10N a la capacité de traiter à peu près n'importe quel substrat de silicium, y compris les substrats fortement dopés et les substrats à structures multicouches. Il offre une gravure précise des deux surfaces, ainsi qu'une meilleure isolation du dispositif, rendement et résistance diélectrique. L'interface utilisateur facile à naviguer du modèle permet un fonctionnement manuel et automatisé, ainsi qu'un fonctionnement multimode. SAMCO RIE-10N assure la sécurité grâce à son équipement de refroidissement des ventilateurs, à ses vannes d'étanchéité au gaz, à ses interrupteurs inviolables et à ses systèmes de détection des excès de température ou de surpression. Les systèmes de diagnostic intégrés surveillent tous les paramètres pendant le fonctionnement, fournissant des données en temps réel pour plus de précision et de précision. RIE-10N est l'outil parfait pour des applications telles que la fabrication MEMS, la gravure microélectronique et l'ashing, la gravure métallique des dispositifs de puissance, et la gravure de processus TEG (Thermal Expansion of Glass).