Occasion SAMCO RIE-10NR #293656751 à vendre en France

SAMCO RIE-10NR est un graveur à ions réactif (RIE) et asher conçu pour des applications de production et de recherche. S'appuyant sur le succès du modèle SAMCO précédent RIE10-TF, SAMCO RIE 10 NR double plus que la vitesse de gravure et d'ashing tout en simplifiant l'exploitation et la maintenance. RIE-10NR a une chambre à vide avec une taille maximale de 200 mm × 200 mm, ce qui le rend idéal pour une gamme de tailles d'échantillons. Il est équipé de sources RF doubles qui génèrent jusqu'à 800 W de puissance pour la gravure et 500 W supplémentaires pour l'ashing. Cela le rend adapté à une gamme de matériaux, y compris le silicium et les métaux. Le processus de gravure est surveillé par Endpoint Detection, une fonctionnalité qui détermine avec précision la fin des opérations de gravure. RIE 10 NR dispose également d'une fonction de contrôle automatique du jet qui permet de régler l'écoulement de l'graveur, de nettoyer les parois de la chambre et d'améliorer l'uniformité des gravures. Le fait de graver à l'eau forte est accompli avec un refillable, la solution de SnCl2 liquide qui prévient l'accumulation de débris dans la chambre et maintient la température du système. Ceci réduit la présence d'impuretés et permet une grande sélectivité et uniformité de gravure. La chambre est interfacée avec un viseur optique prospectif, ce qui permet de surveiller le processus de gravure et permet une inspection rapide des échantillons gravés par caméra. SAMCO RIE-10NR offre également un design modulaire peu profilé qui intègre la pile de soupapes, la pompe à rugosité et le contrôleur sous le viseur optique. Cela élimine le besoin de câblage externe, économisant du temps et des coûts pendant la maintenance. Pour les applications avancées, SAMCO RIE 10 NR peut être équipé d'une source haute fréquence supplémentaire pour l'isolation des tranchées peu profondes. En outre, le système peut être mis à niveau avec une gamme d'accessoires, tels qu'une turbo-pompe, caméra de vue latérale, et source d'ions pulvérulents pour une plus grande polyvalence. En résumé, RIE-10NR est un système puissant et fiable pour la production et la recherche gravure et cendre. Sa double source RF, Endpoint Detection, et la commande automatique de jet fournissent la précision et la précision nécessaires pour des processus avancés, tandis que sa conception modulaire et peu profilée offre des économies de coûts et de temps par rapport à d'autres systèmes RIE.