Occasion SAMCO RIE-10NR #9083619 à vendre en France

SAMCO RIE-10NR est un graveur/asher de plasma à fréquence unique. Il utilise le procédé RIFE (Radio Frequency Induction Excitation) qui utilise un signal radio haute fréquence à fréquence unique pour générer un plasma couplé inductivement. SAMCO RIE 10 NR a une gamme de fréquences de 13.56MHz pour des performances de gravure optimales et peut être utilisé pour graver une variété de substrats dont le silicium, le verre, les métaux et les polymères. RIE-10NR dispose d'une conception compacte avec le générateur RF, l'unité de distribution de gaz et l'unité d'alimentation RF tous intégrés dans une seule unité. Cela permet une gravure de haute précision et un contrôle précis du générateur RF. Le graveur/asher dispose également d'une taille de chambre facilement réglable, permettant de traiter des tailles de plaquettes de 5 à 10 cm. RIE 10 NR utilise une série de bobines pour la génération du champ de puissance RF. Ces bobines sont enfermées dans une chambre en acier inoxydable entièrement métallique pour assurer une gravure de haute précision et une protection contre la contamination croisée et l'usure. SAMCO RIE-10NR utilise un système de distribution directe de gaz pour assurer un débit de gaz uniforme dans toute la chambre. Ceci permet un contrôle précis des gaz de procédé pour obtenir une vitesse de gravure optimale. La pression du procédé peut être contrôlée en réglant le régulateur de pression, ce qui permet d'uniformiser la profondeur de gravure et le profil. SAMCO RIE 10 NR permet également un contrôle précis des mélanges de gaz, permettant des taux de gravure plus élevés et une meilleure définition du profil de gravure. RIE-10NR fournit des vitesses de gravure très élevées, avec un contrôle précis des paramètres de gravure. Il dispose également d'un processus de gravure de passe unique avec plusieurs paramètres de recette, permettant plusieurs processus de gravure en une seule exécution. L'etcher dispose d'un cycle court allant jusqu'à 5 minutes, permettant un débit plus élevé avec un contrôle de qualité accru. Il dispose également d'un contrôle de température et d'uniformité de température, ainsi que d'une interface robotique pour le contrôle de précision du processus de gravure. RIE 10 NR est un graveur/asher idéal pour les applications de gravure de haute précision, offrant une grande précision et répétabilité dans le processus de gravure. De plus, sa conception modulaire intégrée assure un faible entretien et un fonctionnement facile. Ce graveur/asher fournit une solution idéale pour le micro-usinage, la modification de surface et d'autres applications de gravure dans une grande variété d'industries.