Occasion SAMCO RIE-200iP #9157972 à vendre en France

SAMCO RIE-200iP est un graveur d'ions réactif (RIE) qui a été conçu pour la gravure à sec de composés semi-conducteurs. C'est un graveur avec une grande uniformité et répétabilité de gravure, ce qui le rend adapté à une large gamme d'applications de gravure. RIE-200iP est un système autonome, avec tous les composants nécessaires, y compris une chambre de 6 « x 6 », des lignes de flux de gaz de procédé, et une alimentation éjectable, ainsi que des outils informatiques et un système de commande en boucle ouverte. Cet etcher comporte une chambre de 6 « x 6 » avec une surface sous barres qui assure un intervalle uniforme entre la plaquette et l'alimentation au moment du traitement sous vide. Ceci garantit une précision absolue de gravure. La pression et le débit de gaz peuvent être ajustés en fonction du matériau de gravure et de la conception souhaitée. Ceci est contrôlé par le logiciel SAMCO pro3, qui peut être utilisé pour définir les paramètres spécifiques pour la gravure, tels que la tension de polarisation, le débit de gaz de procédé, et la température. SAMCO RIE-200iP dispose également d'un système d'alimentation électrique à 2 étages. Le premier étage consiste en un circuit de serrage de tension qui maintient la tension d'alimentation stable, assurant ainsi une grande uniformité dans le processus de gravure. Le 2ème étage est un E-gun, qui vient avec une lentille de focalisation, permettant l'accélération des ions pour augmenter la vitesse de gravure. De plus, le graveur a une fonction active de protection contre les surtensions, évitant les chocs électriques et protégeant l'opérateur en fonctionnement. RIE-200iP dispose également d'un filtre de vitesse, conçu pour minimiser l'état du gaz et les dommages matériels. Il est capable de travailler avec différents gaz tels que le plasma à base de chlore, le plasma à base de fluor et le plasma à base d'oxygène. La vitesse de gravure peut être ajustée facilement, ce qui en fait un outil polyvalent pour différents besoins de gravure. Dans l'ensemble, SAMCO RIE-200iP offre un environnement efficace et précis pour la gravure des composés semi-conducteurs. Avec sa conception facile à utiliser, son uniformité de gravure précise, sa répétabilité élevée et sa protection contre les surtensions, cet graveur est un appareil puissant pour diverses applications de gravure.