Occasion SAMCO RIE-200IPC #293798661 à vendre en France

SAMCO RIE-200IPC etcher/asher est un équipement fiable, précis et polyvalent conçu pour des applications de recherche et de développement. Le système est basé sur un procédé à plasma de gaz RF (radiofréquence) dans lequel la pièce est exposée à un mélange d'un gaz de procédé et d'un champ électrique haute fréquence produit par un réseau adapté. Cette unité est capable d'atteindre des vitesses de gravure du silicium allant jusqu'à 20nm par seconde, ce qui en fait un outil idéal pour les applications nécessitant une gravure à haut rapport d'aspect sensible à la pression. RIE-200IPC est un graveur/asher de plasma itératif capable d'obtenir des profils de gravure uniformes et une rugosité de surface fine sur plusieurs substrats. Il dispose d'une alimentation oscillante avec 0.5-50MHz fréquence de fonctionnement, tension réglable (jusqu'à 1500V) et fréquence variable pour permettre une gravure précise des matériaux délicats. La machine dispose également d'un contrôle automatique des processus, permettant un réglage facile des paramètres de gravure pour tout type de matériau. Les tuyaux de traitement de l'outil sont munis d'une source de gaz inerte permettant d'éliminer l'oxydation des matériaux sensibles. SAMCO RIE-200IPC utilise un faible budget thermique pour graver des films minces, ce qui permet de graver des motifs fins avec un minimum de distorsion induite par la contrainte. Il dispose également d'un atout d'échappement plasma avec contrôle de pression réglable, surveillance de la température et d'autres caractéristiques de sécurité pour assurer une sécurité optimale du processus. Le modèle est bien adapté aux applications de production à long terme et de prototypage. RIE-200IPC promet des performances de débit élevées, avec une précision de répétabilité couche par couche de +/- 1 % sur les grands substrats. Sa conception robuste et fiable en fait également un bon choix pour les applications de gravure difficiles où la contamination et la warpage thermique doivent être minimisées. L'équipement offre également un haut degré de flexibilité en ce qui concerne le traitement des matériaux, ce qui le rend bien adapté à une grande variété d'applications de gravure. SAMCO RIE-200IPC est un graveur/asher polyvalent et performant capable de produire des gravures à haut rapport d'aspect dans un large éventail de matériaux. Son design de budget thermal bas, paramètres de processus réglables et repeatability excellent rendent RIE-200IPC un grand choix pour les laboratoires de développement et de recherche et les installations de production pareillement.