Occasion SAMCO RIE-200IPC #9287082 à vendre en France
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SAMCO RIE-200IPC est un graveur ionique réactif (RIE) permettant de produire des caractéristiques de gravure hautement reproductibles et de haute précision dans une grande variété de matériaux. Il convient à la réalisation de circuits intégrés (CI), de têtes d'enregistrement magnétique, de MEMS, d'optique de précision et d'optoélectronique. RIE-200IPC est un équipement de gravure haut de gamme entièrement automatisé, conçu pour obtenir des résultats extrêmement précis et cohérents grâce à une combinaison de technologies de pointe et de contrôle précis des processus. Il fonctionne dans des conditions de vide élevé pour obtenir des résultats de gravure propres sans sous-cotation, gravure diélectrique, ou contamination de surface. Son système d'automatisation haute précision à haut débit assure des fonctions de gravure répétables avec une résolution de 0,2-98,0 microns. En outre, son logiciel intégré de pointe optimise les stratégies de gravure pour surveiller en permanence le processus de gravure afin d'éviter toute déviation dans les résultats. SAMCO RIE-200IPC est livré avec un blindage coaxial des parois des chambres de processus pour minimiser la charge superficielle, une unité de vide de haute qualité pour l'évacuation complète des gaz de processus, et un générateur de DISQUE ETCH O3 efficace pour améliorer le taux de succès des processus O3. De plus, la machine contient également un outil de transfert automatique de substrat très fiable pour le chargement et le déchargement de substrats d'une taille maximale de 12 « × 12 ». En outre, RIE-200IPC est construit avec une chambre de procédé en alliage d'aluminium inerte pour une plus longue durée de vie de l'équipement, un outil de nettoyage et d'entretien modularisé, et une interface de communication numérique intelligente. Il est équipé d'une interface graphique intuitive pour la configuration des recettes de gravure, le suivi du fonctionnement du modèle et l'acquisition de données pour une analyse plus poussée. Cet équipement supporte également les dispositifs périphériques de chargement et de déchargement automatiques de substrats, de distribution de gaz, de traitement des gaz d'échappement et de surveillance des émissions. SAMCO RIE-200IPC offre des performances fiables et répétables pour la gravure d'un large éventail de matériaux, y compris les métaux, les oxydes, les nitrures, les plastiques et bien d'autres. Il est très adapté pour la fabrication à petite échelle, des caractéristiques de haute précision, et pour les applications de gravure de production à grande échelle. Globalement, RIE-200IPC est une solution de gravure ionique réactive puissante, polyvalente et automatisée, offrant des résultats de gravure supérieurs avec un débit minimal.
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