Occasion SAMCO RIE-200NL #293621510 à vendre en France
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SAMCO RIE-200NL est un équipement de gravure et d'ashing conçu et fabriqué par SAMCO Technologies. Ce système est conçu pour diverses applications de gravure et d'ashing, telles que l'électronique, les semi-conducteurs et l'optoélectronique. RIE-200NL utilise un procédé de gravure par plasma inductif (ICP), qui offre des avantages par rapport aux procédés de gravure traditionnels tels que la gravure anisotrope profonde et un procédé à température extrêmement basse. Cela permet à l'utilisateur de contrôler la vitesse de gravure, d'ajuster l'énergie et de modifier les paramètres du processus pour obtenir le résultat souhaité. L'unité est équipée d'un contrôleur avancé qui fournit des fonctions polyvalentes pour contrôler le processus de gravure et les paramètres de fonctionnement. Il comprend également une fonction d'autodiagnostic qui vérifie les performances de la machine et des diagnostics accessibles à distance. SAMCO RIE-200NL dispose d'un collecteur d'entrée de gaz avec quatre canaux de gaz indépendants, permettant à theetcher de sélectionner le mélange de gaz optimal. La chambre de procédé est en acier inoxydable et quartz, offrant un excellent contrôle de la température et de la pression. La chambre présente également des parois latérales amovibles, permettant de traiter de grandes plaquettes et de multiples configurations de substrat. RIE-200NL est conçu avec un générateur hyperfréquence à double fréquence très efficace, qui maintient les basses températures internes et minimise la contamination des particules. Il offre également la programmabilité utilisateur, permettant à l'utilisateur de personnaliser facilement les paramètres de processus et les recettes. L'utilisateur peut également surveiller la température des plaquettes in situ. La plaque de base en option permet une personnalisation rapide de la recette et aide à minimiser la contamination croisée. Il est également compatible avec une large gamme de produits chimiques de gravure, y compris la gravure à base d'halogène, la gravure à base de soufre et la gravure à base de chlore et de fluor. SAMCO RIE-200NL etcher/asher est un outil idéal pour la recherche et le développement de processus de gravure et d'ashing avancés. Avec sa fonctionnalité polyvalente, sa grande précision et sa facilité d'utilisation, il est adapté à un large éventail d'applications, y compris les semi-conducteurs, l'optoélectronique, la microélectronique, et d'autres industries nécessitant des processus de gravure et d'ashing.
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