Occasion SAMCO RIE-212iPC #293587431 à vendre en France

Fabricant
SAMCO
Modèle
RIE-212iPC
ID: 293587431
Style Vintage: 2009
ICP Etcher 2009 vintage.
SAMCO RIE-212iPC est un équipement avancé de gravure ionique réactive (RIE) qui offre une gravure de haute précision pour une variété de matériaux. Il est utilisé pour amplifier des micro- et nano-structures dans un large éventail d'applications telles que les systèmes microélectromécaniques (MEMS), la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et la fabrication de cellules d'affichage. Le système est un outil efficace et rentable pour la gravure haute résolution d'un large éventail de matériaux, tels que le silicium, le germanium, l'arséniure de gallium, l'aluminium et les polymères avec une excellente uniformité et précision de gravure. SAMCO RIE 212 IPC est construit avec une chambre principale de 600 mm x500 mm pour les grandes quantités de substrat à graver et une chambre latérale de 200mm x150 mm pour les petites plaquettes et les échantillons. Sa gamme de pression de travail est de 50 mTorr à 400 mTorr et comprend une pompe à vide intégrée au titane getter qui fournit une pression extrême de 0,1 mTorr ou mieux. La chambre de graveur est en acier inoxydable, avec un élément chauffant de 140 W et une plage de température de 0-200 ° C L'unité dispose également d'une commande numérique de roue pour régler la pression de gravure, le débit et le temps. RIE-212iPC offre des solutions précises pour la gravure avec une ultra-résolution et des résultats reproductibles. Il présente une homogénéité précise dans tous les domaines des substrats, de faibles niveaux de résidus et une gravure diélectrique améliorée. Il utilise une machine informatique avancée pour contrôler toutes ses fonctions, telles que les recettes de gravure qui peuvent être programmées pour des résultats précis et reproductibles. Il comprend également un outil de distribution de gaz avec des capteurs de sécurité et une télécommande. RIE 212 IPC est idéal pour ceux qui recherchent une gravure précise et répétable pour une variété de matériaux et d'applications. Sa précision et son faible niveau de résidus permettent un excellent polissage et une finition globale. Il est également extrêmement facile à programmer et à exploiter, ce qui en fait un excellent choix pour les laboratoires, les installations de recherche et d'autres domaines qui nécessitent des solutions de gravure précises.
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