Occasion SAMCO RIE-212iPC #293761450 à vendre en France
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SAMCO RIE-212iPC est un graveur et asher le mieux adapté à la gravure et au cendrage réactifs haute précision de la pression atmosphérique, couramment utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Le dispositif est entièrement automatisé et contient divers paramètres de processus pour fournir une qualité de gravure superbe et le rapport coût-efficacité. L'etcher dispose d'une grande chambre à vide haute capacité de 200 cm3, permettant des lots importants et un temps de traitement réduit. Une haute performance sous vide est assurée par une pompe à rugosité à deux étages et une pompe turbo moléculaire raffinée. Une interface utilisateur simple et intuitive peut être utilisée pour contrôler l'équipement automatisé, y compris le contrôle de pression, le contrôle du gaz de procédé et l'application de haute tension. Il intègre également un porte-électrode rotatif qui assure des résultats de gravure uniformes sur toutes les surfaces. L'appareil dispose également d'une fonction de contrôle de source haute puissance, qui permet des processus avancés tels que la gravure à grande vitesse et un degré élevé de précision. Selon les exigences du produit, le graveur peut utiliser une variété de gaz tels que O2, CF4, Ar et SF6. En outre, il intègre une tension de commande d'alimentation jusqu'à 2,000V avec une précision de +/- 0,5 %. La sécurité intégrée de l'appareil assure sa sécurité ainsi que celle de l'environnement environnant. Cela comprend un système de détection d'arc, une unité de surveillance, une machine d'arrêt d'urgence et un outil de détection de gaz. En outre, le dispositif est équipé d'un outil de surveillance de la température qui peut être utilisé pour surveiller la température de la chambre de procédé et de ses composants, ce qui contribue à réduire les dommages liés au processus. En résumé, SAMCO RIE 212 IPC etcher and asher est conçu pour une gravure ionique réactive haute précision à pression atmosphérique, offrant de superbes performances avec un contrôle automatique des processus et une gamme de caractéristiques de sécurité. La grande capacité du dispositif permet d'améliorer les performances et de réduire le temps de traitement.
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