Occasion SCHMID Blue 1100 #9006876 à vendre en France
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ID: 9006876
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2010
PECVD System
Direct plasma source
370-440 kHz
88 wafer per tray, 1100 wafer per hr (based on 6" wafer)
N2 SiH4, NH3 gases
Vacuum supply and gas supply system included
Abatement excluded
PLC controlled, including recipe management
Currently installed
2010 vintage.
SCHMID Blue 1100 est une machine de gravure chimique utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'une solution efficace, fiable et rentable pour des substrats allant de plaquettes de 4 pouces, métal et MEMS, à des modèles 3-D avancés. La machine est équipée d'une technologie unique appelée « Smart Chip Matching », permettant aux puces ou dispositifs d'être parfaitement accouplés les uns aux autres, obtenant un débit plus élevé et de meilleurs taux de rendement. Blue 1100 est construit avec un cadre en acier entièrement conçu pour permettre un débit optimal et des performances maximales. Le cadre assure une configuration stable même lors des opérations à haute température, et est également conçu pour un entretien facile. La chambre est conçue pour donner un effet de gravure uniforme et a été approuvée pour le fonctionnement en salle blanche, conformément aux normes CEI 61672-3. Il a également été testé pour résister à la modulation de température comprise entre -10 ° C et + 54 ° C La machine est alimentée par un système de traitement intelligent avancé, conçu pour le traitement à haute vitesse tout en conservant d'excellents rendements. Il est équipé de régulateurs de température PID, vous permettant de fonctionner à des températures plus élevées et de minimiser les fluctuations de température. Il dispose également de différentes cartes d'entrée/sortie, d'une imprimante thermique, d'une vanne à trois voies pour le cyclage thermique rapide, et d'autres composants dédiés à la gravure de précision et au cendrage. La machine dispose d'un système de refroidissement avancé, permettant des températures de processus optimales. En outre, une conception de l'eau de refroidissement circule tout autour de la chambre, assurant que les substrats restent stables pendant les longs temps de processus et les températures élevées. SCHMID Blue 1100 dispose également de logiciels intelligents pour optimiser les cycles, améliorer la précision et la sécurité. Il peut également être utilisé à distance, offrant une flexibilité de production, avec des utilisateurs capables de passer d'un type de produit à un autre rapidement. Dans l'ensemble, Blue 1100 est un graveur et asher idéal pour la production de semi-conducteurs. Il est riche en fonctionnalités, robuste et conçu pour le fonctionnement en salle blanche. Il peut traiter de grandes plaquettes de substrat avec des rendements beaucoup plus élevés et des procédés moins variables, permettant une production de semi-conducteurs efficace et rentable.
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