Occasion SCHMID Combi Line #9237970 à vendre en France

SCHMID Combi Line est un graveur/asher multifonctionnel conçu pour effectuer la gravure plasma et la cueillette de plaquettes sans intervention manuelle. L'équipement se compose d'une unité modulaire unique combinant une chambre de gravure, des conduites de gaz de procédé, un équipement sous vide et une source de plasma in situ. La chambre de gravure de Combi Line est équipée d'électrodes internes et d'un faisceau de particules chargé qui produit du gaz ionisé non polarisé à haute température, minimisant les dommages de gravure et améliorant le contrôle des processus. Les paramètres réglables du processus de gravure, tels que la pression et le débit de gaz de procédé, sont contrôlés par un contrôleur logique programmable (PLC). L'unité est conçue pour traiter jusqu'à six plaquettes en parallèle et est compatible avec toutes les tailles de plaquettes standard. La plaquette est chauffée par le tampon fixé sur le disque supérieur, permettant un réglage manuel précis de la température. La source de plasma in situ au centre de la chambre de gravure est amovible et programmable pour différentes recettes de gravure. Le système de régulation de pression asynchrone (APRS) de SCHMID Combi Line peut être réglé automatiquement pour contrôler la pression dans la chambre de gravure. Il permet à l'unité de graver sans l'utilisation d'une pompe externe, réduisant à la fois le coût et le temps. La cale rotative de l'unité offre l'avantage d'un chauffage uniforme des plaquettes pendant le processus de cueillette. Cela réduit le budget thermique, évitant aux couches ou structures sensibles d'être endommagées par la diffusion thermique. La conception modulaire de l'équipement facilite l'entretien et le remplacement rapides. Toute la machine est construite sur une plate-forme compacte et utilise un seul sas pour le transfert rapide des plaquettes. Le PLC est équipé d'une interface utilisateur graphique (GUI) qui fournit une interface facile à utiliser pour entrer et exécuter des recettes de gravure et de cueillette et surveiller l'état de l'outil. Dans l'ensemble, Combi Line offre des capacités de gravure et de cendrage étendues en une seule unité. L'équipement offre un débit accru, un meilleur contrôle des processus et une meilleure précision, ainsi qu'un coût de possession réduit.