Occasion SCHMID Infinity Line #293605245 à vendre en France
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SCHMID Infinity Line etcher/asher est un équipement conçu pour le traitement avancé d'une variété de matériaux industriels. Ce système peut être utilisé pour un large éventail d'applications, allant de simples procédés de gravure et d'ashing à des opérations de micro-structuration de surface plus complexes. L'unité Infinity Line se compose de deux modules principaux ; un seul processeur de gravure/cueillette de plaquettes et une unité de traitement thermique facultative. SCHMID Infinity Line gravure/ashing processeur est une machine compacte avec une interface utilisateur graphique conviviale (UI) et une fonction de contrôle de processus simple pour assurer une répétabilité et une reproductibilité maximales. Cet outil comprend une chambre de gravure/cendres à balayage rapide ainsi qu'un contrôleur triaxial programmable (X, Y et Ω) logé séparément avec une précision de positionnement de l'échantillon inférieure à 1 μ m. Cet atout permet aux utilisateurs de contrôler avec précision les paramètres du processus de gravure/cueillette tels que la température et la puissance du mécanisme de gravure/cueillette. En plus de l'application single wafer, Infinity Line est capable de manipuler 25 wafers en mode lot. Un stockage de mémoire intégré permet aux utilisateurs de stocker et de réutiliser des recettes pour un traitement rapide et sans problème. SCHMID Infinity Line est alimenté par un moteur d'entraînement commandé en fréquence, qui permet de contrôler la vitesse du processus et la précision. De plus, une mesure de modulation de fréquence (FM) est disponible pour surveiller la progression du processus et détecter les aberrations en temps réel. L'unité de traitement thermique en option, qui est reliée au processeur de gravure/ashing Infinity Line, permet aux utilisateurs de pré- et post-traiter le substrat. Ce modèle est équipé d'un pyromètre sans contact, non thermique, pour assurer un contrôle précis de la température et des traitements thermiques uniformes. Cette unité permet également aux utilisateurs d'utiliser plusieurs gaz de traitement thermique, tels que Ar et N2, pour transférer avec précision la chaleur vers le substrat. La conception globale de SCHMID Infinity Line etcher/asher est très puissante, capable de traiter un large éventail de matériaux et d'effectuer des opérations de gravure et de cueillette très précises. Cet équipement assure des résultats de gravure/cueillette reproductibles et une gestion optimale de la température pour les traitements thermiques.
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