Occasion SCREEN SP-W813-U #293754469 à vendre en France
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ID: 293754469
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2006
Spin processor, 8"
2006 vintage.
SCREEN SP-W813-U est un équipement avancé de graveur/asher conçu pour le traitement précis et fiable des plaquettes semi-conductrices dans la fabrication de dispositifs microélectroniques. Cet équipement polyvalent offre une gamme de capacités de gravure ou d'ashing, ce qui en fait un outil essentiel pour les laboratoires de recherche et développement, ainsi que des installations de production à haut volume. Au cœur de SP-W813-U est sa technologie de plasma de pointe, qui permet un traitement hautement contrôlé et uniforme des plaquettes. Le système utilise une source de puissance haute fréquence pour générer une décharge de plasma dans la chambre de réaction, où la plaquette est placée pour le traitement. Ce plasma peut être adapté aux différents gaz et recettes de procédé, permettant une large gamme d'applications de gravure et de cendrage. Une des caractéristiques clés de SCREEN SP-W813-U est ses capacités de processus polyvalents. L'unité supporte les processus de gravure humide et sèche, ce qui la rend adaptée à une variété de matériaux et d'applications. La gravure humide implique l'utilisation de produits chimiques liquides pour retirer sélectivement le matériau de la plaquette, tandis que la gravure sèche utilise le plasma pour graver la surface. SP-W813-U supporte également les processus de cendrage, qui éliminent les contaminants organiques de la surface de la plaquette à l'aide de plasma d'oxygène. La machine est équipée d'une gamme d'options de gaz de procédé, y compris des gaz couramment utilisés comme le chlore, le fluor, l'oxygène et l'argon. Ces gaz peuvent être combinés pour créer des recettes de processus personnalisées adaptées aux matériaux spécifiques et aux exigences de gravure. Le débit de gaz est précisément contrôlé pour assurer un traitement uniforme sur toute la surface de la plaquette, conduisant à une répétabilité et un rendement élevés du procédé. Pour améliorer le contrôle et la flexibilité des processus, SCREEN SP-W813-U dispose d'une interface conviviale qui permet aux opérateurs de programmer et de surveiller facilement les paramètres de traitement. L'outil permet de surveiller en temps réel les principales variables de processus telles que les débits de gaz, la pression de la chambre et la puissance plasmatique, ce qui permet aux opérateurs d'optimiser les conditions de traitement pour une efficacité et une qualité maximales. En termes de manutention des plaquettes, SP-W813-U est conçu pour la compatibilité avec les tailles de plaquettes standard jusqu'à 300 mm. L'actif dispose d'un mécanisme de transfert de plaquettes qui assure une manutention douce des plaquettes pendant le chargement et le déchargement, minimisant le risque de dommages ou de contamination. La conception de la chambre est optimisée pour des cycles de pompage et d'évent rapides, réduisant le temps de traitement global et augmentant le débit du modèle. La sécurité est un autre aspect crucial de la conception de SCREEN SP-W813-U, avec des dispositifs intégrés de sécurité et des systèmes de surveillance pour prévenir les accidents et assurer la protection des opérateurs. L'équipement est également équipé de diagnostics avancés et de routines d'auto-étalonnage pour maintenir des performances optimales et minimiser les temps d'arrêt. Dans l'ensemble, SP-W813-U est un système de graveur/asher de pointe qui offre un contrôle de processus inégalé, la flexibilité et la fiabilité pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Avec sa technologie plasma de pointe, ses capacités de processus polyvalentes et son interface conviviale, cette unité est un outil indispensable pour l'industrie des semi-conducteurs, permettant le développement et la production de dispositifs microélectroniques de pointe avec une qualité et une efficacité supérieures.
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