Occasion SEMITOOL Excalibur 2000 #9226634 à vendre en France

SEMITOOL Excalibur 2000 etcher/asher est un équipement de pointe pour l'élimination chimique ou le dépôt de matériaux. Il s'agit d'un procédé automatisé de semi-conducteur, de plaquette ou de niveau de filière utilisé à la fois pour les méthodes de gravure et d'ashing des puces de circuit intégré à semi-conducteur (IC). L'équipement Excalibur 2000 offre une flexibilité ultime dans la taille des plaquettes et les types de substrats ; tous les types de plaquettes semi-conductrices comme le silicium, l'arsenide de gallium, le silicium sur saphir et les substrats vitrocéramiques peuvent être manipulés. Le système SEMITOOL Excalibur 2000 est souvent utilisé dans les laboratoires de procédés semi-conducteurs. Le graveur/asher comprend un bras robot avec une pale d'application pour distribuer de façon homogène et automatique les produits chimiques de processus aux plaquettes dans la chambre de processus. Le bras robot est compatible avec les porte-gousses standard ; il est également équipé d'un tableau de contrôle de synchronisation qui peut être utilisé pour ajuster le nombre de mouvements de robot et de recettes par plaquette. Le bras robot est également relié à une carte de contrôle de synchronisation pour la livraison de la chimie de processus, assurant la cohérence et la précision du traitement chimique. L'unité Excalibur 2000 est équipée d'une machine optique Excalibur à la pointe de la technologie, qui permet une surveillance et un contrôle précis des processus de gravure/cueillette. L'outil optique comprend un scanner infrarouge, un imageur optique, une tête de contrôle photorésist optionnelle, et un capteur collimaté-optique avec un atout variable réglable en fibre optique qui permet de contrôler en temps réel les processus de gravure et de cueillette. Il offre également des paramètres réglables tels que la taille, la position, l'épaisseur et la forme des caractéristiques gravées sur les plaquettes. Le modèle SEMITOOL Excalibur 2000 dispose également d'une source RF multipoint avancée pour la gravure avec puissance réglable et type de forme d'onde RF. Il dispose également d'un imageur haute vitesse et haute précision pour l'application de couches de protection pour des procédés avancés tels que Plasma Enhanced CVD. Enfin, l'équipement Excalibur 2000 est basé sur une plateforme logicielle conviviale qui permet une programmation et un contrôle faciles des processus de gravure/ashing via une interface de contrôle tactile. Les paramètres de contrôle tels que le numéro de recette, la taille de la plaquette, le débit de gaz, la température, la pression, le paramètre RIE, le paramètre RF et le temps de refroidissement sont tous réglables à partir de l'interface. SEMITOOL Excalibur 2000 etcher/asher est un outil de procédé efficace et avancé pour la fabrication de puces IC. Ses caractéristiques permettent des processus de gravure et de cueillette précis, précis et cohérents avec la flexibilité ultime dans les types de plaquettes et de substrat. Son scanner infrarouge et son système d'imagerie optique permettent une surveillance avancée des processus de gravure et d'ashing, tandis que la plate-forme logicielle intégrée permet une programmation et un contrôle faciles.