Occasion SEMITOOL Excalibur 2000 #9250097 à vendre en France

SEMITOOL Excalibur 2000
ID: 9250097
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2005
System, 6" 2005 vintage.
SEMITOOL Excalibur 2000 est un graveur et asher de haute performance de pointe pour l'industrie des semi-conducteurs. Il offre la plus grande uniformité de processus et le coût total de propriété le plus bas. Excalibur 2000 dispose d'un équipement de contrôle automatisé des processus avancé, hautement optimisé pour minimiser les défauts du substrat, réduire la contamination des particules et assurer la conformité du procédé. Il offre une capacité de gravure avancée avec la capacité de contrôler avec précision le masquage, la profondeur de gravure, la vitesse de gravure et la planéité du substrat. Il peut graver et déposer des milieux secs et humides et fournir une répétabilité de processus inégalée avec une précision exceptionnelle. SEMITOOL Excalibur 2000 est équipé d'un design de chambre dynamique qui donne une uniformité thermique inégalée de ± 1 ° C/min sur toute la gamme de substrat, assurant des résultats de processus cohérents. Il a intégré la définition et le contrôle des processus, offrant la flexibilité et la précision pour la production de semi-conducteurs à haut rendement et à haut débit. Pour garantir des résultats cohérents, Excalibur 2000 utilise des gaz de traitement de haute pureté supérieurs qui peuvent être régulés et dosés précisément pour un contrôle optimal du procédé. Il dispose d'un système de refroidissement avancé, de capteurs de température et de pression in situ qui peuvent être surveillés en temps réel et réduisent considérablement la perte de gaz. Des outils avancés de surveillance et de déclaration du contrôle des processus, comme un moniteur à vie pour générateur RF, permettent aux utilisateurs de surveiller les paramètres critiques et de régler rapidement les problèmes de processus. Une unité intégrée de surveillance de l'alimentation permet aux utilisateurs de surveiller en permanence la puissance de sortie du générateur, en alertant lorsqu'un problème se pose. SEMITOOL Excalibur 2000 est conçu pour fournir aux producteurs des résultats fiables, un coût de propriété moindre et des performances élevées. Sa machine de recirculation avancée surveille et nettoie la chambre de processus et les pompes pour l'accumulation de particules et la contamination. Avec sa précision et son efficacité, Excalibur 2000 offre le plus haut débit par pouce carré dans l'industrie pour les étapes de gravure et de cendrier.
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