Occasion SEZ / LAM RESEARCH 101 #293652614 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH 101 est un équipement graveur/asher de haute précision utilisé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Le système est une unité de graveur/asher à trois étages, à haut débit, auto-nettoyant, avec un processus de cassette à cassette entièrement automatisé. L'unité est capable de produire une profondeur de gravure minimale de 5 angströms (Å) et une profondeur asher minimale de 0,2 micron, tout en fournissant des résultats à la fois cohérents et reproductibles. La machine permet une gravure précise et précise des plaquettes empilées et des plaquettes individuelles sans interaction humaine. L'outil utilise un puits de gaz pour souffler-sécher les plaquettes avant de déposer le gaz de gravure (il est idéal pour la gravure de couche de protection et la gravure plasma haute densité). L'actif peut produire un large éventail de profils de gravure et d'asher, y compris des profils de gravure isotrope, étape, anisotrope, sélective et profonde. Il peut également être utilisé pour effectuer une gravure/cueillette inertielle et non inertielle. Le modèle utilise un équipement de purge N2 amont/aval, permettant aux utilisateurs de contrôler l'exposition des gaz réactifs à la ou aux plaquettes. Le système est équipé d'un contrôleur logique programmable (PLC), assurant un contrôle précis des paramètres vitaux du processus tels que la température, la pression et les débits des réactifs. Le PLC est également capable de stocker une bibliothèque de 256 recettes de plaquettes, qui peuvent être rapidement chargées et exécutées sans aucune intervention de l'utilisateur. L'unité dispose également d'un grand écran tactile LCD et d'une interface graphique intuitive, ce qui permet aux opérateurs de surveiller l'état de la machine et de vérifier chaque plaquette au fur et à mesure de son passage dans l'unité. Cela garantit des résultats de gravure/cueillette de haute qualité et constants plusieurs fois. L'outil fournit également des diagnostics complets et des capacités de rapport, ce qui est très utile pour les utilisateurs d'analyser rapidement et d'identifier les problèmes avec l'actif.