Occasion SEZ / LAM RESEARCH 203 #9399002 à vendre en France

SEZ / LAM RESEARCH 203
ID: 9399002
Taille de la plaquette: 8"
Spin etcher, 8".
SEZ/LAM RESEARCH 203 Asher est un outil polyvalent de traitement des plaquettes. Doté d'un procédé de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD), l'Asher a été spécialement conçu pour graver et nettoyer les matériaux sensibles à haute température tels que le carbure de silicium, l'arséniure de gallium et le saphir. Idéal pour la fabrication de semi-conducteurs, le SEZ 203 utilise une combinaison de pression, de température et de chimie pour nettoyer, graver ou masquer la pièce. Les chambres de procédé de l'Asher sont pressurisées avec un vide de haute qualité puis chauffées pour réduire ou clarifier les contaminants du procédé. Le débit est contrôlé automatiquement, ce qui permet de contrôler avec précision la vitesse de gravure. Plusieurs recettes de processus sont stockées pour un accès facile, donnant des résultats de gravure cohérents peu importe le matériau. De plus, tous les paramètres du processus peuvent être facilement ajustés via le grand écran tactile, ce qui permet une adaptation rapide aux exigences spécifiques. Les diagnostics avancés de l'Asher optimisent les performances et la sécurité. Grâce à son interféromètre laser intégré et son réseau de photodiodes, l'Asher aligne les substrats sur la précision du niveau du nanomètre dans les directions x et y. Le laser comprend également un moniteur de contamination, qui utilise l'interférométrie laser pour détecter et mesurer les impuretés présentes dans la chambre de gravure. Cela garantit la sécurité et la qualité du processus tout en minimisant la ferraille. L'Asher présente également un certain nombre de caractéristiques environnementales. Elle répond à la norme du système d'étiquetage vert UL pour les matières dangereuses, ce qui signifie qu'elle est exempte ou limite l'exposition à des matières dangereuses, comme l'ozone et d'autres composés organiques volatils (COV). En outre, il est équipé d'une porte de sécurité qui empêche le démarrage inattendu ou l'interruption du processus. L'Asher est également conçu pour minimiser le bruit, en maintenant les niveaux acoustiques au minimum. En résumé, LAM RESEARCH 203 Asher est un graveur de traitement par lots très efficace, économique et adapté aux matériaux sensibles à haute température. Ses recettes de processus automatisées et ses diagnostics avancés avec précision au niveau du nanomètre garantissent des résultats cohérents tandis que ses contrôles environnementaux contribuent à en faire un appareil sûr et sécurisé.
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