Occasion SEZ / LAM RESEARCH 223 #293775128 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH 223 est un équipement avancé de gravure et de cendrage conçu pour le traitement des plaquettes haute performance. Le système est conçu pour être une solution flexible pour les applications de cendrage et de gravure dans le but de réduire considérablement les temps de cycle et d'offrir un contrôle de processus supérieur. Il dispose d'un fonctionnement autonome ou automatisé pour le traitement complet des plaquettes et le traitement partiel des plaquettes, avec une cohérence entre plaquettes inférieure à 5 %. L'unité offre également une évolutivité supérieure entre les processus de gravure et de cendrage des plaquettes complètes et partielles. SEZ 223 comprend une chambre de processus efficace et évolutive avec une machine avancée de contrôle automatisé des processus par ordinateur (CAPC) pour le contrôle complet ou partiel des processus de wafer. Il est conçu pour fournir des résultats de gravure et de cueillette très précis et reproductibles sans intervention de l'opérateur. La conception de la chambre comprend un plateau de plaquettes de 200mm avec deux bras de support flottants NO FABMD pour le traitement optimal de substrats plus petits. Il a un volume de chambre de 3300 litres, avec un outil de distribution de gaz réglable pour la protection d'oxydation in situ et des rapports d'écoulement accordables pour le contrôle de gravure et de cendrage. LAM RESEARCH 223 comprend un actif avancé en boucle fermée avec une surveillance en temps réel de la température des plaquettes et un module de contrôle MFC par boucle de pression. Ce modèle permet de contrôler avec précision le taux de dépôt et de gravure pour obtenir des résultats cohérents et reproductibles. En outre, l'équipement est équipé d'un système de nettoyage intégré dédié pour le nettoyage complet des gravures/cendres entre les différents processus de wafer. Cette unité comprend une approche en deux étapes qui implique un rinçage à l'eau DI, puis une purge dirigée vers l'azote et le plasma pour assurer un nettoyage complet de la chambre. 223 comprend également une suite logicielle CORE AutomationMD pour garantir la précision des paramètres du processus et leur conformité. Ce logiciel polyvalent permet à l'utilisateur d'automatiser la configuration, l'exécution, le transfert et le suivi des processus. Il dispose également d'un traitement par lots fiable et répartit la charge de travail entre plusieurs systèmes. Dans l'ensemble, SEZ/LAMS RESEARCH SEZ/LAM RESEARCH 223 est une machine de gravure et de cendrage avancée conçue pour minimiser les temps de cycle, améliorer le contrôle et la cohérence des processus et obtenir des résultats fiables. Avec ses fonctionnalités complètes et avancées, cet outil offre des solutions de gravure/cendres fiables adaptées à des applications variées.