Occasion SEZ / LAM RESEARCH 223 #293775129 à vendre en France

SEZ / LAM RESEARCH 223
ID: 293775129
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* * Introduction * * SEZ/LAM RESEARCH 223 est un équipement polyvalent et avancé qui combine les processus de gravure et de cueillette dans une seule plate-forme. Ce système est conçu pour répondre aux exigences exigeantes de la fabrication de semi-conducteurs, de la recherche et des applications de développement. SEZ 223 offre un contrôle précis sur les processus de gravure et d'ashing, permettant aux utilisateurs d'obtenir des résultats de haute qualité avec une productivité exceptionnelle. * * Caractéristiques clés * * LAM RESEARCH 223 est équipé d'une gamme de caractéristiques innovantes qui le distinguent des graveurs et cendres classiques. Une caractéristique clé de cette unité est sa double fonctionnalité, permettant aux utilisateurs de passer facilement entre les modes de gravure et de cueillette. Cette flexibilité permet aux utilisateurs d'effectuer un large éventail d'étapes de processus sur une plate-forme unique, éliminant le besoin de plusieurs outils. Une autre caractéristique notable de 223 est ses capacités avancées de contrôle des processus. La machine est équipée de capteurs de pointe et de systèmes de surveillance qui permettent un contrôle précis des paramètres du processus tels que le débit de gaz, la pression, la température et la puissance RF. Ce niveau de contrôle garantit des résultats cohérents et reproductibles, même pour des recettes de processus complexes. SEZ/LAM RESEARCH 223 offre également un haut degré d'automatisation, avec un contrôle logiciel avancé pour le développement de recettes, la surveillance des processus et l'analyse des données. Cette automatisation réduit le besoin d'intervention manuelle, ce qui augmente la productivité et réduit le risque d'erreur humaine. En outre, l'outil est conçu avec des interfaces conviviales qui rendent le fonctionnement et la maintenance simples pour les utilisateurs novices et expérimentés. * * Performance de gravure * * En mode gravure, la SEZ 223 offre des performances exceptionnelles pour un large éventail de matériaux et de structures. L'actif est capable de graver différents matériaux semi-conducteurs, dont le silicium, l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, etc. Grâce à sa source de plasma haute densité et à son contrôle précis des processus, le modèle peut obtenir des profils de gravure uniformes avec une grande sélectivité et des dommages minimes aux couches sous-jacentes. Le processus de gravure sur LAM RESEARCH 223 est hautement configurable, ce qui permet aux utilisateurs d'optimiser des paramètres tels que la chimie des gaz, la pression et la puissance pour répondre aux exigences spécifiques des procédés. L'équipement soutient tant isotropic qu'anisotropic la gravure à l'eau forte des techniques, en le rendant convenable pour une gamme diverse d'applications, de la fabrication d'appareil à la fabrication de MEMS. ** la Performance d'Ashing ** Dans le mode ashing, 223 excelle en fait d'enlever photorésistent et d'autres polluants organiques de substrates. Le processus d'aspiration du plasma du système est très efficace, générant des espèces réactives qui brisent efficacement les matériaux organiques sans laisser de résidus ou endommager les structures sensibles. Le processus d'ashing sur SEZ/LAM RESEARCH 223 est doux mais minutieux, assurant l'élimination complète des contaminants tout en préservant l'intégrité du substrat. Les capacités d'aspiration de l'unité sont encore améliorées par sa capacité à effectuer des traitements à plasma d'oxygène, qui peuvent être utilisés pour modifier les propriétés de surface, éliminer les oxydes de surface ou favoriser l'adhésion lors des étapes ultérieures de traitement. SEZ 223 offre un contrôle précis des paramètres d'ashing, permettant aux utilisateurs d'adapter le processus à des applications et substrats spécifiques. * * Conclusion * * Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 223 est une machine de pointe qui combine les capacités de gravure et d'ashing dans une plateforme unique et conviviale. Avec ses caractéristiques avancées, ses capacités de haute performance et son fonctionnement fiable, 223 est un outil indispensable pour la fabrication de semi-conducteurs, la recherche et le développement. Que les utilisateurs aient besoin de graver des structures en silicium avec une grande précision ou des couches photorésistantes en cendres avec efficacité, cet outil fournit des résultats exceptionnels avec une flexibilité et un contrôle inégalés.
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