Occasion SEZ / LAM RESEARCH 304 #293622221 à vendre en France
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SEZ/LAM RESEARCH 304 est un équipement de gravure humide et de cueillette de précision. Il est conçu pour offrir une combinaison de recettes rapides, sûres et précises pour la gravure de précision d'une large gamme de substrats, de plaquettes semi-conductrices, de métaux et d'autres matériaux. La SEZ 304 est équipée d'une plate-forme trimline pouvant accueillir jusqu'à quatre substrats grand format (substrats typiques de 6 « et 8 ») et jusqu'à quatre supports dans les formats plus larges (10 « et 12 »). La plate-forme dispose d'une large gamme de tailles de chambres de processus et de taux de gravure, permettant une variabilité totale des temps de traitement et des taux de gravure. LAM RESEARCH 304 propose également une large gamme de recettes programmables pour les taux de gravure et d'ashing, permettant des lots reproductibles et fiables. 304 dispose d'un panneau de gaz intégré, permettant un contrôle complet de l'atmosphère de la chambre de procédé. De plus, SEZ/LAM RESEARCH 304 dispose d'un système intégré de nettoyage en place (CIP) pour faciliter un nettoyage rapide et efficace de la chambre de gravure/cendres et des lignes de traitement. L'unité de contrôle de SEZ 304 fournit une solution complète d'automatisation des processus et permet la programmation et le contrôle par l'utilisateur de divers paramètres de processus. L'interface graphique intuitive et conviviale de LAM RESEARCH 304 permet aux opérateurs de programmer et de surveiller rapidement et facilement les processus de gravure/cendres et permet le dépannage et la surveillance en vol. 304 comporte également une large gamme de dispositifs de sécurité, y compris deux niveaux d'intercalaires sous vide pour assurer un fonctionnement sûr, un moniteur de pression pour surveiller la pression de la chambre, un moniteur de température pour assurer un chauffage et un refroidissement adéquats du substrat, et un moniteur de processus pour assurer une vitesse de gravure et des temps de traitement appropriés. SEZ/LAM RESEARCH 304 dispose également d'une variété de paramètres d'alarme sélectionnables par l'utilisateur, permettant aux opérateurs d'adapter les paramètres d'alarme en fonction de leurs besoins spécifiques de processus. De plus, le SEZ 304 intègre un procédé de gravure sans quartz qui élimine l'introduction d'éléments métalliques dans la chambre de gravure et réduit ainsi les risques de contamination ou d'endommagement des substrats. En résumé, LAM RESEARCH 304 est une machine de gravure et de cendrage de précision fiable et polyvalente qui fournit aux utilisateurs des taux de gravure et de cendres de précision et une solution complète d'automatisation des processus. 304 offre une large gamme de tailles de chambres de processus et de taux de gravure, une interface utilisateur graphique intuitive, et des fonctionnalités de sécurité intégrées pour assurer un fonctionnement sûr et l'intégrité du processus. Avec ses performances robustes et sa fiabilité, SEZ/LAM RESEARCH 304 convient à la recherche industrielle, à la production et aux applications éducatives.
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