Occasion SEZ / LAM RESEARCH 304 #293652616 à vendre en France

SEZ / LAM RESEARCH 304
ID: 293652616
Taille de la plaquette: 8"-12"
Spin processor, 8"-12".
SEZ/LAM RESEARCH 304 est un équipement de gravure/cueillette de plasma pour la production de microstructures de haute qualité à haut débit. Il est capable de graver des substrats dans divers matériaux tels que le silicium, le verre, les métaux et le nitrure et a une large gamme d'applications dans l'industrie de la microélectronique. Ses caractéristiques et capacités fournissent la plus haute qualité et des résultats reproductibles pour la fabrication de produits. SEZ 304 dispose d'un système robotique automatisé qui permet une manipulation facile du substrat. Ce processus automatisé permet d'optimiser le temps d'exposition, ce qui donne des résultats de gravure reproductibles et précis. L'unité offre également un haut degré de précision et de contrôle, avec la capacité de contrôler la vitesse de gravure, tout en assurant une uniformité sur le substrat. La machine est également capable de produire des motifs exempts d'artefacts ou d'effets de ruissellement. L'outil est également équipé d'une source de plasma avancée qui fournit un haut niveau de performance et de précision. Cette source avancée produit du plasma haute densité qui est ensuite dirigé vers le substrat à travers la chambre de gravure. Ce plasma haute densité conduit à des taux de gravure optimisés qui se traduisent par des structures gravées de meilleure qualité. LAM RESEARCH 304 dispose également d'une chambre de processus multi-zones qui permet la gravure séquentielle de plusieurs substrats dans divers matériaux. Cet atout permet de contrôler les paramètres du processus de gravure. Le modèle dispose également d'un équipement sophistiqué de livraison de gaz qui est utilisé pour contrôler la vitesse de gravure, et a la capacité de traiter diverses chimies de gravure. 304 est également équipé de diagnostics avancés, y compris un profileur d'imagerie de bord intégré qui fournit une imagerie de résolution sous-micron du bord du profil de gravure motivé. Ce système offre également un suivi in situ qui permet d'optimiser les paramètres de processus assurant des résultats de la plus haute qualité. SEZ/LAM RESEARCH 304 offre la capacité de produire des microstructures gravées de haute qualité et reproductibles avec des débits élevés, conduisant à des débits de production améliorés et à des gains d'efficacité dans les lignes de production. Ses caractéristiques et capacités fournissent la plus haute qualité et des résultats reproductibles pour la fabrication de produits.
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