Occasion SEZ / LAM RESEARCH 304 #9224043 à vendre en France

SEZ/LAM RESEARCH 304 est un équipement asher/etcher idéal pour le traitement de semi-conducteurs haute performance. Il présente la technologie LAMPAR™ avancée qui fournit un haut niveau de performance, productivité, fidélité et uniformité. Le SEZ 304 intègre les procédés de gravure, de dépôt et de résistivité/strippage diélectrique en utilisant des techniques de dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) et de gravure spécifiques au LAM. Le système dispose d'un suscepteur de 17 pouces et d'une échelle de quartz réglable manuellement. Il dispose également d'une unité de vide de niveau supérieur qui permet des processus de gravure précis et répétables. De plus, LAM RESEARCH 304 propose une machine de contrôle de processus basée sur le temps avec une répétabilité ± 0,001 ° C/min. Ceci est essentiel pour les applications critiques de gravure afin d'assurer la qualité et la fiabilité du produit. 304 comprend un ensemble d'uniformité à haute température qui permet de contrôler avec précision le profil de température local et global. Cette caractéristique crée une épaisseur et une uniformité égales sur tout le substrat, ce qui conduit à de meilleures performances du dispositif. SEZ / la RECHERCHE DE LAM 304 est aussi équipé avec un Centre de Processus de LAMResearch™ avancé pour la commande du processus complète et les données notantes. Cela permet aux utilisateurs de surveiller les conditions de la chambre afin de maximiser les performances de l'outil, de maximiser le rendement de fabrication et d'améliorer le contrôle des processus. SEZ 304 utilise la technologie LAMPAR™ avancée pour fournir un profil d'ultrahaute résolution et une uniformité de graver des processus à l'eau forte. Ceci fournit la meilleure qualité de gravure de substrat et la reproductibilité des résultats de gravure. De plus, LAM RESEARCH 304 utilise un processus propre à LAM, piloté par un contrôleur PLC de pointe. Cet actif a la capacité de détecter et de prévenir les événements d'arc, de minimiser la probabilité de dérive et de rester très stable au fil du temps. Le LAM 304 a une histoire éprouvée d'applications de gravure réussies dans l'industrie des semi-conducteurs et est bien adapté à la production de masse ainsi qu'à la recherche et au développement. De plus, SEZ/LAM RESEARCH 304 est facile à utiliser et à ajuster, et peut fonctionner avec une variété de produits chimiques et de substrats. Sa technologie de pointe LAMPAR™, son centre de traitement avancé et son ensemble d'uniformité à haute température font du SEZ 304 un outil idéal pour la fabrication de semi-conducteurs.