Occasion SEZ / LAM RESEARCH 323 #293632547 à vendre en France
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ID: 293632547
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
Spin processor, 12"
Controller
Carrier station block, (4) FOUP
Process block
AC Power box
(2) Etchers
CDU
Temperature Control Unit (TCU)
Solvent supply system: (2) Tank auto supply systems with CSS
Direct drain
Heater tank
(4) SLQ-QT500 Flow meters
2004 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH 323 est un type d'outil de gravure et de cueillette qui permet une gravure sélective de haute qualité et de cueillette de couches de matériaux composés. Cet outil produit des résultats très précis et reproductibles, permettant l'élimination sélective de différents matériaux dans des couches complexes par gravure chimique et ashing plasma. Le SEZ 323 est doté d'un design compact et robuste, ce qui le rend adapté aux applications où l'espace est limité. Le processus de gravure et de cueillette peut être complété à l'aide de divers gaz, dont l'oxygène, l'argon, l'hexafluorure de soufre et l'ammoniac. Le contrôle de ces gaz est assuré par l'utilisation de régulateurs de pression et de débit, ainsi que d'un système de vide avancé. L'outil permet également aux utilisateurs de choisir entre une gamme de paramètres de gravure et d'ashing, tels que la température, la pression et la puissance. LAM RESEARCH 323 est conçu pour permettre des processus de gravure et d'ashing de haute précision. Le programme de processus numérique permet aux utilisateurs de mettre en place des processus de gravure et d'ashing en fonction de leurs résultats souhaités, tandis que l'écran tactile et l'interface graphique fournissent une approche intuitive du fonctionnement. L'outil comprend également des garanties intégrées qui éteignent automatiquement la machine si les paramètres prédéfinis sont dépassés. Ce graveur/asher dispose également d'une surface de travail de 4 pouces, ce qui le rend adapté à des projets de petite envergure. La chambre est en acier robuste pour améliorer la fiabilité et les performances. 323 dispose également d'un système de refroidissement intégré qui utilise l'environnement environnant pour refroidir l'ensemble électronique et la chambre de réaction. SEZ/LAM RESEARCH 323 outil de gravure et d'ashing offre une solution durable et de haute précision pour l'enlèvement sélectif des matériaux. C'est un excellent choix pour de nombreuses industries, comme les industries des semi-conducteurs et de la céramique, où des résultats de haute qualité sont nécessaires pour produire des produits finis.
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