Occasion SEZ / LAM RESEARCH DaVinci DV Prime #9045178 à vendre en France
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Vendu
ID: 9045178
Wet bench, 12"
(8) Chamber main frame, front side and backside processing
Ionization system
Filter fan unit
ISO Class 2
FM 4910 Materials
(4) Load ports
Protocol zone separation
Double side option for (2) chambers
(2) Double side DS chucks
Medium on top level double side
GEM Automation software
SMI S2 & S8 Standard
Flow monitoring and flow control
ECO End effector set
E 84 Parallel I/O
A-Jet option with DI for (2) chambers, internal supply
CO2 Enriched DI water for (2) process chambers
ASD 3: Dry option for spacer etch back for (2) chambers.
SEZ/LAM RESEARCH DaVinci DV Prime est une machine de gravure et de cendrage de précision conçue pour des applications de dédicace, d'ablation et de micromachining haut de gamme dans les secteurs des semi-conducteurs, des MEMS et des dispositifs médicaux. Avec son extrême précision, son débit élevé et son faible taux de défaut, SEZ DaVinci DV Prime devient rapidement un choix privilégié pour ceux qui cherchent à repousser les limites des processus avancés de gravure et d'ashing. La machine dispose d'un équipement de contrôle de mouvement 3axis haute résolution, permettant des procédés d'usinage précis et reproductibles pour la gravure et l'ashing de tout matériau, quelles que soient ses propriétés initiales. Les systèmes d'imagerie optique intégrés de DaVinci permettent une surveillance précise des processus, permettant aux utilisateurs d'optimiser facilement les paramètres de processus pour produire des pièces précises et sans défaut. En outre, les processus de gravure et d'ashing peuvent être entièrement automatisés, avec une interface propriétaire pour la surveillance et le contrôle de haut niveau. Le logiciel intégré de la machine comprend également un certain nombre de fonctions supplémentaires liées aux processus, telles qu'un système d'auto-enregistrement pour les géométries complexes, une unité de reconnaissance avancée des bords, et des capacités précises d'appariement des motifs pour redéfinir les processus existants. Cela permet aux utilisateurs d'avoir une flexibilité et une répétabilité maximales du processus. La machine dispose également d'une machine de chargement et de déchargement automatisé pour une efficacité maximale. L'automate permet aux utilisateurs de charger de grands lots de pièces et l'outil de déchargement peut rapidement trier les pièces en fonction de leurs paramètres de gravure et d'ashing. Cela garantit que les produits finaux sont de la plus haute qualité et les défauts sont éliminés. LAM RESEARCH DaVinci DV Prime est un outil polyvalent et fiable conçu pour répondre aux exigences les plus strictes. Son ensemble complet de fonctionnalités permet aux utilisateurs d'établir de nouvelles normes en matière de précision et de débit de gravure et de cueillette, avec une fiabilité et une efficacité inégalées. La machine est conçue pour fonctionner dans les environnements les plus exigeants et est parfaite pour toute application nécessitant une gravure et une cendre de haute précision.
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