Occasion SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293652633 à vendre en France
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ID: 293652633
Taille de la plaquette: 8"- 12"
Single wafer etchers, 8"- 12"
(4) Chambers.
SEZ/LAM RESEARCH DV-34 est un graveur/asher plasma avancé qui assure l'élimination efficace et uniforme des matériaux organiques et inorganiques. C'est une solution de gravure polyvalente, économique et fiable pour diverses applications. La conception unique de l'graveur permet à l'utilisateur d'ajuster les taux de gravure pour différents matériaux. L'unité est équipée d'une chambre de 7,6 pouces de large, lui permettant de graver plusieurs pièces simultanément. L'unité dispose également d'un ensemble de support perforé qui assure une gravure uniforme sans nécessiter de fixations supplémentaires. Son système de distribution de gaz à flux spiral crée un flux continu uniforme de la chimie de gravure souhaitée à travers la chambre de gravure. La conception sans sept élimine les sources potentielles de contamination de la chambre de gravure et permet le fonctionnement jusqu'à 10-4 torr. SEZ DV-34 est conçu avec la sécurité de l'utilisateur en tête et contient deux pompes à vide qui améliorent la stabilité du vide tout en accordant aux utilisateurs le contrôle total sur l'évacuation de la chambre et l'aide dans le processus répétable. De plus, le système de mouvement des plaquettes à l'intérieur de la chambre permet d'éviter la surchauffe, qui peut nuire aux substrats délicats. Le système de mouvement de la plaquette élimine les effets de bord souvent causés par les gradients de température. De plus, LAM RESEARCH DV-34 est équipé d'une interface complète d'écran tactile qui permet à l'utilisateur de programmer et surveiller facilement le processus de gravure. Programmer le processus sur l'écran tactile est simple et intuitif, permettant un large éventail de paramètres personnalisés et de recettes de gravure programmables. L'utilisateur peut choisir parmi plusieurs recettes de processus sélectionnables, couper les temps de gravure, et éliminer les effets de bord. Globalement, DV-34 est un graveur/asher avancé et fiable qui peut fournir une gravure de précision sur un large éventail de matériaux. Ses multiples fonctionnalités conviviales en font une solution idéale pour diverses applications de gravure.
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